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2013³â 9¿ù 9ÀÏ ÀÌÈÄ ´©Àû¼öÄ¡ÀÔ´Ï´Ù.
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351,000¿ø (10%ÇÒÀÎ)
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¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ½ÃÀå°ú µ¿Çâ 25
1. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå 25
1-1. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ÇöȲ 25
1-2. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °¡Ä¡»ç½½ ºÐ¼® 30
2. µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå 33
2-1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå ÇöȲ 33
2-2. µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ °¡Ä¡»ç½½ ºÐ¼® 38
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ÇöȲ ºÐ¼® 45
1. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ 45
1-1. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ ºÐ¼® 45
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 45
2) ¹üÀ§ 47
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 50
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 54
1-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 56
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 56
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 58
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 62
1-3. ƯÇã µ¿Çâ 63
2. °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç 66
2-1. °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç ºÐ¼® 66
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 66
2) ¹üÀ§ 68
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 70
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 72
2-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 73
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 73
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 76
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 79
2-3. ƯÇã µ¿Çâ 80
3. EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® 82
3-1. EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ºÐ¼® 82
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 82
2) ¹üÀ§ 84
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 86
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 87
3-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 88
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 88
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 90
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 92
3-3. ƯÇã µ¿Çâ 93
4. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ 95
4-1. ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¼® 95
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 95
2) ¹üÀ§ 97
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 99
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 100
4-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 104
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 104
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 107
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 110
4-3. ƯÇã µ¿Çâ 111
5. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ 113
5-1. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ºÐ¼® 113
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 113
2) ¹üÀ§ 116
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 118
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 119
5-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 121
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 121
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 126
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 128
5-3. ƯÇã µ¿Çâ 129
6. ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° 130
6-1. ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 130
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 130
2) ¹üÀ§ 132
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 135
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 139
6-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 141
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 141
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 145
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 150
6-3. ƯÇã µ¿Çâ 151
7. Boron-SiC Edge Ring 153
7-1. Boron-SiC Edge Ring ºÐ¼® 153
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 153
2) ¹üÀ§ 156
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 157
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 159
7-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 161
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 161
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 165
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 168
7-3. ƯÇã µ¿Çâ 169
8. Á¤Àüô 171
8-1. Á¤Àüô ºÐ¼® 171
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 171
2) ¹üÀ§ 172
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 177
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 179
8-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 180
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 180
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 182
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 184
8-3. ƯÇã µ¿Çâ 185
9. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° 186
9-1. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 186
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 186
2) ¹üÀ§ 190
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 193
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 199
9-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 200
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 200
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 204
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 210
9-3. ƯÇã µ¿Çâ 211
10. Áø°øÆßÇÁ 213
10-1. Áø°øÆßÇÁ °ü·Ã 213
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 213
2) ¹üÀ§ 218
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 221
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 224
10-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 225
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 225
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 228
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 232
10-3. ƯÇã µ¿Çâ 234
11. MFC(Mass Flow Controller) 236
11-1. MFC(Mass Flow Controller) ºÐ¼® 236
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 236
2) ¹üÀ§ 238
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 240
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 242
11-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 243
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 243
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 245
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 247
11-3. ƯÇã µ¿Çâ 248
12. ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ 250
12-1. ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ¼® 250
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 250
2) ¹üÀ§ 251
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 255
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 257
12-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 259
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 259
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 261
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 262
12-3. ƯÇã µ¿Çâ 263
13. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡ 265
13-1. Sing SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) ¼¼Á¤ÀåÄ¡ ºÐ¼® 265
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 265
2) ¹üÀ§ 268
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 271
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 272
13-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 274
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 274
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 277
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 282
13-3. ƯÇã µ¿Çâ 283
14. ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° 284
14-1. ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 284
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 284
2) ¹üÀ§ 288
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 292
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 295
14-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 297
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 297
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 299
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 302
14-3. ƯÇã µ¿Çâ 303
15. ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ 305
15-1. ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ºÐ¼® 305
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 305
2) ¹üÀ§ 309
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 311
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 312
15-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 314
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 314
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 317
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 321
15-3. ƯÇã µ¿Çâ 322
16. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç 323
16-1. °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç ºÐ¼® 323
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 323
2) ¹üÀ§ 327
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 329
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 331
16-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 335
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 335
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 338
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 340
16-3. ƯÇã µ¿Çâ 341
17. °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç 342
17-1. °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç ºÐ¼® 342
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 342
2) ¹üÀ§ 344
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 345
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 347
17-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 348
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 348
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 350
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 353
17-3. ƯÇã µ¿Çâ 354
18. Æí±¤ÆÇ, Æí±¤Çʸ§ 356
18-1. Æí±¤ÆÇ, Æí±¤Çʸ§ ºÐ¼® 356
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 356
2) ¹üÀ§ 357
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 358
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 360
18-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 361
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 361
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 363
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 365
18-3. ƯÇã µ¿Çâ 366
19. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë PI Çʸ§ ¼ÒÀç 368
19-1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë PI Çʸ§ ¼ÒÀç ºÐ¼® 368
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 368
2) ¹üÀ§ 369
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 370
4) ½ÃÀåȯ°æºÐ¼® 373
19-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 374
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 374
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 377
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 379
19-3. ƯÇã µ¿Çâ 380
¥². ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú È°¿ë 385
1. ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú È®´ë °³Æí °ü·Ã 385
1-1. ¹è°æ ¹× °æ°ú 385
1-2. ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú °³¿ä 387
1-3. ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú °³Æí Áß ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °ü·Ã 388
1-4. ÇâÈÄ °èȹ 390
1-5. ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú 391
2. 2022³â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °³¹ß »ç¾÷ ½Å±ÔÁö¿ø ´ë»ó 393
¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ½ÃÀå°ú µ¿Çâ
Ç¥¸ñÂ÷
25
¡´Ç¥1-1¡µ ¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ Áß ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºñÁß 28
¡´Ç¥1-2¡µ ¹ÝµµÃ¼ ±¹°¡º° ¸ÅÃâ¾× ¹× ¼¼°è½ÃÀå Á¡À¯À² 29
¡´Ç¥1-3¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ ÁÖ¿ä Ç°¸ñ 35
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ÇöȲ ºÐ¼® 45
¡´Ç¥2-1¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 48
¡´Ç¥2-2¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ 49
¡´Ç¥2-3¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 54
¡´Ç¥2-4¡µ OLED¿ë °øÁ¤ ¹× °Ë»çÀåÄ¡ÀÇ ¼¼°è½ÃÀå Àü¸Á 55
¡´Ç¥2-5¡µ ±¹³» µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÆгΠ»ê¾÷ÀÇ
½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 55
¡´Ç¥2-6¡µ OLED¿ë °øÁ¤ ¹× °Ë»çÀåÄ¡ÀÇ ±¹³»½ÃÀå Àü¸Á 55
¡´Ç¥2-7¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀåÄ¡±â¾÷ ¸ÅÃâ ¼øÀ§ 59
¡´Ç¥2-8¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î ÀåÄ¡ ºÐ¾ß Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¼±Á¤ 62
¡´Ç¥2-9¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤¼ÒÀç ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 68
¡´Ç¥2-10¡µ ¿ëµµº° ºÐ·ù 68
¡´Ç¥2-11¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀçÀÇ ±¸¼º ºÐ·ù 69
¡´Ç¥2-12¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀçÀÇ
¿ëµµº° ºÐ·ù 69
¡´Ç¥2-13¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç
¼¼°è½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 72
¡´Ç¥2-14¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç
±¹³»½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 72
¡´Ç¥2-15¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç/ºÎÇ° °ü·Ã
±¹³» ±â¼ú ¼öÁØ ¹× ±¹»êÈÀ² 75
¡´Ç¥2-16¡µ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3°³ Ç°¸ñ ¼öÃâÀÔ ÇöȲ 75
¡´Ç¥2-17¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú 79
¡´Ç¥2-18¡µ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ »ê¾÷±¸Á¶ 84
¡´Ç¥2-19¡µ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Àû¿ë±â¼ú¿¡ µû¸¥ ºÐ·ù 84
¡´Ç¥2-20¡µ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ºÐ·ù¿¡ µû¸¥
»ý»ê¾÷ü ¹× ÁÖ¿ä ±â¼ú 86
¡´Ç¥2-21¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç
¼¼°è½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 87
¡´Ç¥2-22¡µ °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ¿ë °øÁ¤ ¼ÒÀç
±¹³»½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 87
¡´Ç¥2-23¡µ ÁÖ¿ä ¾÷ü Á¾ÇÕ 91
¡´Ç¥2-24¡µ EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 92
¡´Ç¥2-25¡µ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 97
¡´Ç¥2-26¡µ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ÀÇ ¿ëµµº° ºÐ·ù 97
¡´Ç¥2-27¡µ °øÁ¤¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ºÐ·ù 98
¡´Ç¥2-28¡µ Àü°øÁ¤ ÀåÄ¡º° ¼¼°è½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 101
¡´Ç¥2-29¡µ Áö¿ªº° ³ë±¤ÀåÄ¡ ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 101
¡´Ç¥2-30¡µ ¾Æ½Ã¾Æ ÅÂÆò¾ç ±¹°¡º° ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ½ÃÀå
±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 102
¡´Ç¥2-31¡µ ¾Æ½Ã¾Æ ÅÂÆò¾ç ±¹°¡º° ³ë±¤ ÀåÄ¡ ½ÃÀå
±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 103
¡´Ç¥2-32¡µ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 110
¡´Ç¥2-33¡µ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 116
¡´Ç¥2-34¡µ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer ¿ëµµº° ºÐ·ù 116
¡´Ç¥2-35¡µ Lithography ÀåÄ¡ ¼¼°è½ÃÀå 119
¡´Ç¥2-36¡µ Lithography ÀåÄ¡ ´ë·úº° ½ÃÀå 120
¡´Ç¥2-37¡µ Lithography ÀåÄ¡ ±¹³»½ÃÀå 120
¡´Ç¥2-38¡µ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ - Mask Writer ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 128
¡´Ç¥2-39¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 133
¡´Ç¥2-40¡µ CMP ÁÖ¿ä °øÁ¤ º¯¼ö 134
¡´Ç¥2-41¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°
¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 139
¡´Ç¥2-42¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 150
¡´Ç¥2-43¡µ SiC »ê¾÷±¸Á¶ 156
¡´Ç¥2-44¡µ SiC ¼ÒÀç ¿ëµµ ¹× »ç¿ë ºÎÇ° 157
¡´Ç¥2-45¡µ źȱԼÒ(SiC)ÀÇ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 159
¡´Ç¥2-46¡µ źȱԼÒ(SiC) ¹ÝµµÃ¼ÀÇ
¼¼°è ½ÃÀåÀÇ ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 159
¡´Ç¥2-47¡µ ±¹³» Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 160
¡´Ç¥2-48¡µ Boron-SiC edge ring ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 168
¡´Ç¥2-49¡µ Á¤Àüô ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 172
¡´Ç¥2-50¡µ ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ 178
¡´Ç¥2-51¡µ Á¤ÀüôÀÇ ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 179
¡´Ç¥2-52¡µ Á¤ÀüôÀÇ ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 179
¡´Ç¥2-53¡µ Á¤Àüô ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 184
¡´Ç¥2-54¡µ °¢Á¾ °í°µµ¡¤°íź¼º À¯±â¼¶À¯ ¹°¼º ºñ±³ 187
¡´Ç¥2-55¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¿¬°ü »ê¾÷±¸Á¶ 190
¡´Ç¥2-56¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 199
¡´Ç¥2-57¡µ ±¹³» °í°µµ¡¤°íź¼º À¯±â¼¶À¯
½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 199
¡´Ç¥2-58¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 210
¡´Ç¥2-59¡µ Áø°ø¿µ¿ªÀÇ °³°ü 214
¡´Ç¥2-60¡µ Áø°øÆßÇÁÀÇ »ê¾÷±¸Á¶ 218
¡´Ç¥2-61¡µ Áø°øÆßÇÁ ¿ëµµº° ºÐ·ù 219
¡´Ç¥2-62¡µ ±â¼úº° ºÐ·ù 220
¡´Ç¥2-63¡µ Áø°øÆßÇÁÀÇ ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 224
¡´Ç¥2-64¡µ Áø°øÆßÇÁÀÇ ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 224
¡´Ç¥2-65¡µ Áø°øÆßÇÁ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 232
¡´Ç¥2-66¡µ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ ¹üÀ§ 238
¡´Ç¥2-67¡µ ¹ÝµµÃ¼¿ë MFC ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 242
¡´Ç¥2-68¡µ ¹ÝµµÃ¼¿ë MFC ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 242
¡´Ç¥2-69¡µ MFC(Mass Flow Controller) °³¹ß °ü·Ã
Çٽɱâ¼ú 247
¡´Ç¥2-70¡µ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 251
¡´Ç¥2-71¡µ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ¿ëµµº° ºÐ·ù 252
¡´Ç¥2-72¡µ Ãß°¡°øÁ¤¿¡ µû¸¥ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ·ù 253
¡´Ç¥2-73¡µ ¼¼°è ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ½ÃÀåÀÇ ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 257
¡´Ç¥2-74¡µ ¼¼°è SOI ¿þÀÌÆÛ ½ÃÀåÀÇ ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 258
¡´Ç¥2-75¡µ ±¹³» ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 258
¡´Ç¥2-76¡µ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 262
¡´Ç¥2-77¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â ÁÖ¿ä ¼¼Á¤¾× 266
¡´Ç¥2-78¡µ Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture)
¼¼Á¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 268
¡´Ç¥2-79¡µ ¹ÝµµÃ¼ ½À½Ä¼¼Á¤ ¹Ý½ÄÀÇ ºÐ·ù 269
¡´Ç¥2-80¡µ ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ 272
¡´Ç¥2-81¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡
¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 273
¡´Ç¥2-82¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ´ë·úº° ½ÃÀå 273
¡´Ç¥2-83¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ÀÇ
±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 273
¡´Ç¥2-84¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ ÁÖ¿ä ±â¾÷ 277
¡´Ç¥2-85¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ ÀåÄ¡ Á¦Ç° Ãâ½Ã ÇöȲ 278
¡´Ç¥2-86¡µ Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture)
¼¼Á¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 282
¡´Ç¥2-87¡µ ±â¼úº° ºÐ·ù 288
¡´Ç¥2-88¡µ 2/3Â÷¿ø ÃøÁ¤±âÀÇ ±â¼ú ºÐ·ù 289
¡´Ç¥2-89¡µ 2/3Â÷¿ø ÃøÁ¤±â ±¸¼º ºÐ·ù 290
¡´Ç¥2-90¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä ÀåÄ¡ ¹× ±â´É 290
¡´Ç¥2-91¡µ ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåÄ¡ÀÇ ±â¼ú ºÐ·ù 291
¡´Ç¥2-92¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°
¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 295
¡´Ç¥2-93¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ°
±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 296
¡´Ç¥2-94¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ÀåÄ¡ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú 302
¡´Ç¥2-95¡µ ÆÐÅ°Áö ¹øÀÎ(Burin)ÀÇ ±¸ºÐ 307
¡´Ç¥2-96¡µ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍÀÇ »ê¾÷±¸Á¶ 309
¡´Ç¥2-97¡µ ÁÖ°Ë»çÀåÄ¡(Main test)ÀÇ ºÐ·ù 309
¡´Ç¥2-98¡µ ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåÄ¡ÀÇ ±â¼ú ºÐ·ù 310
¡´Ç¥2-99¡µ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍÀÇ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 313
¡´Ç¥2-100¡µ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ´ë·úº° ½ÃÀå 313
¡´Ç¥2-101¡µ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ±¹³»½ÃÀå 313
¡´Ç¥2-102¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ºÐ¾ß ÁÖ¿ä Á¦Ç°ÀÇ
±¹³» ¾÷ü ÇöȲ 320
¡´Ç¥2-103¡µ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÅÍ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 321
¡´Ç¥2-104¡µ °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀçÀÇ
±¸¼º ¹× ±â¼úÀû Ư¡ 324
¡´Ç¥2-105¡µ °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç ºÐ¾ß
»ê¾÷±¸Á¶ 327
¡´Ç¥2-106¡µ ±â´É¿¡ µû¸¥ À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀçÀÇ
±¸¼º ¹× ºÐ·ù 328
¡´Ç¥2-107¡µ ½ÃÀå ¼ºÀå ÃËÁø¿äÀÎ ¹× ÀúÇØ¿äÀÎ 330
¡´Ç¥2-108¡µ ¿ Á¦¾î¡¤¹æ¿ ºÎÀçÀÇ
¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 331
¡´Ç¥2-109¡µ ¿ Á¦¾î¡¤¹æ¿ ºÎÀçÀÇ
±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 334
¡´Ç¥2-110¡µ °íÈ¿À² À¯¹«±â ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀç ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú 340
¡´Ç¥2-111¡µ °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç ºÐ¾ß
»ê¾÷±¸Á¶ 344
¡´Ç¥2-112¡µ ¿ëµµº° ºÐ·ù 344
¡´Ç¥2-113¡µ Á¦3±â ±¹°¡³ª³ë±â¼úÁöµµ¿¡¼
¡®Æí¸®ÇÏ°í Áñ°Å¿î »î¡¯ ºÎ¹® 346
¡´Ç¥2-114¡µ °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç ¼¼°è
½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 347
¡´Ç¥2-115¡µ °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç
±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 347
¡´Ç¥2-116¡µ °íÀ¯¿¬¡¤°í°æµµ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú 353
¡´Ç¥2-117¡µ Æí±¤ÆÇ/Æí±¤Çʸ§ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 357
¡´Ç¥2-118¡µ Æí±¤ÆÇ/Æí±¤Çʸ§ÀÇ ¿ëµµº° ºÐ·ù 357
¡´Ç¥2-119¡µ ±¤ÇÐÇʸ§ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 360
¡´Ç¥2-120¡µ ±¤ÇÐÇʸ§ ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 360
¡´Ç¥2-121¡µ Æí±¤ÆÇ/Æí±¤Çʸ§ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 365
¡´Ç¥2-122¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë PI Çʸ§¼ÒÀç ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 369
¡´Ç¥2-123¡µ PI Çʸ§¼ÒÀçÀÇ ¿ëµµº° ºÐ·ù 369
¡´Ç¥2-124¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë PI Çʸ§¼ÒÀçÀÇ ±â¼ú ºÐ·ù 369
¡´Ç¥2-125¡µ PI Çʸ§ ¼ÒÀç ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 373
¡´Ç¥2-126¡µ PI Çʸ§ ¼ÒÀç ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 373
¡´Ç¥2-127¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë PI Çʸ§ ¼ÒÀç ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 379
¥². ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú È°¿ë 385
¡´Ç¥3-1¡µ ºÐ¾ßº° ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú °ËÅä ±âÁØ 386
¡´Ç¥3-2¡µ 6´ë ÁßÁ¡ºÐ¾ß 100´ë ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú ÇöȲ 387
¡´Ç¥3-3¡µ ±âÁ¸ 100´ë ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú vs °ËÅä ÈÄ
ãæ ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú ºñ±³Ç¥ 388
¡´Ç¥3-4¡µ ÇÙ½É Àü·«±â¼ú È®ÀÎ ÀýÂ÷ ¹× Ư·Ê 390
±×¸²¸ñÂ÷
¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ½ÃÀå°ú µ¿Çâ 25
¡´±×¸²1-1¡µ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Á¾·ù 25
¡´±×¸²1-2¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ »ýÅ°è 26
¡´±×¸²1-3¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ±â¾÷ÇüÅ ÁøÈ 27
¡´±×¸²1-4¡µ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¼ºÀå ÃßÀÌ 29
¡´±×¸²1-5¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ º§·ùüÀÎ ±¸Á¶ 31
¡´±×¸²1-6¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±â¾÷ÀÇ ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 33
¡´±×¸²1-7¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷ÀÇ ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 33
¡´±×¸²1-8¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ±â¾÷ÀÇ ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 33
¡´±×¸²1-9¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå Á¡À¯À² ÇöȲ 37
¡´±×¸²1-10¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå ÃßÀÌ¿Í Àü¸Á 37
¡´±×¸²1-11¡µ OLEDÀÇ °¡Ä¡»ç½½ ±¸Á¶ 38
¡´±×¸²1-12¡µ Çѱ¹ OLED ±â¾÷ÀÇ
°¡Ä¡»ç½½º°¡¤Áö¿ªº° ºÐÆ÷ ÇöȲ 41
¡´±×¸²1-13¡µ ÀϺ»°ú Áß±¹ OLED °¡Ä¡»ñ½½ ºÐÆ÷ ÇöȲ 41
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ±â¼ú ÇöȲ ºÐ¼® 45
¡´±×¸²2-1¡µ ·¹ÀÌÀú Àü»çÀÇ ±âº» °³³ä(»ó),
´Ù¾çÇÑ ±¸Á¶ ¹× °øÁ¤ÀÇ Àü»ç(ÇÏ) 45
¡´±×¸²2-2¡µ FPD/¸¶½ºÅ© ¸®Æä¾î °³³äµµ 47
¡´±×¸²2-3¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º 66
¡´±×¸²2-4¡µ ¹ÝµµÃ¼ È°¿ë ºÐ¾ßÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡ 67
¡´±×¸²2-5¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ纰 ºñÁß 70
¡´±×¸²2-6¡µ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ »ç¿ëµÇ´Â ³ë±¤ °øÁ¤ 82
¡´±×¸²2-7¡µ Çѱ¹ÀÇ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦Ç°¸ñ ±¹°¡º° ¼öÀÔ ºñÁß 89
¡´±×¸²2-8¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ È帧°ú ³ë±¤°øÁ¤ ÀåÄ¡ 95
¡´±×¸²2-9¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåÄ¡ ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð 100
¡´±×¸²2-10¡µ Àü°øÁ¤ ÀåÄ¡º° ¼¼°è ½ÃÀå ±Ô¸ð 100
¡´±×¸²2-11¡µ ¾Æ½Ã¾Æ ÅÂÆò¾ç Áö¿ª ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ½ÃÀå
±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 102
¡´±×¸²2-12¡µ ³ë±¤°øÁ¤ÀÇ Á߿伺 ¹× ³ë±¤ÀåÄ¡ ½ÃÀåÀÇ
±â¾÷º° Á¡À¯À² 108
¡´±×¸²2-13¡µ ÀÌ¼Ö EUV ³ë±¤ÀåÄ¡ °³³äµµ 109
¡´±×¸²2-14¡µ Æ÷Å丶½ºÅ© È°¿ë ¹üÀ§ ¹× Á¦Á¶ °øÁ¤ 113
¡´±×¸²2-15¡µ Æ÷Å丶½ºÅ© ÀÌ¿ë ½Ã ³ë±¤°øÁ¤ 114
¡´±×¸²2-16¡µ Æ÷Å丮¼Ò±×¶óÇÇ(photolithography) °øÁ¤ 115
¡´±×¸²2-17¡µ ÇÁ·ÐÆ®-¿£µå ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ½ÃÀå CAGR 119
¡´±×¸²2-18¡µ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú Æз¯´ÙÀÓÀÇ º¯È ÃßÀÌ 123
¡´±×¸²2-19¡µ ¸¶ÀÌÅ©·Î´Ð ³ë±¤±â 126
¡´±×¸²2-20¡µ CMP °øÁ¤ ´Ü°è °³³äµµ 131
¡´±×¸²2-21¡µ ¹ÝµµÃ¼ Æз¯´ÙÀÓÀÇ º¯È 135
¡´±×¸²2-22¡µ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼¼³ºñ ¸ÅÃâ ÃßÀÌ(ÁÂ),
Áß±¹ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼¼³ºñ ¾÷ü ±â¼úÇöȲ(¿ì) 138
¡´±×¸²2-23¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåÄ¡ ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð 140
¡´±×¸²2-24¡µ ÄÚ¹ßÆ® Àû¿ëÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¼º´É °³¼± ¸ð½Äµµ 143
¡´±×¸²2-25¡µ ÅºÈ±Ô¼Ò ¿§Áö ¸µ 154
¡´±×¸²2-26¡µ SiC ¼ÒÀç¿Í ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ 155
¡´±×¸²2-27¡µ ¿øÀÍÅ¥¿£½Ã, ´Ü´Ü ¹× ´ë±¸ÅØ¿¡¼ »ý»ê ÁßÀÎ
´ëÇü ÅºÈ±Ô¼Ò ¼ÒÀç 157
¡´±×¸²2-28¡µ CVD SiC ¸µÀÇ Àû¿ë°øÁ¤ 163
¡´±×¸²2-29¡µ Á¤ÀüôÀÇ ±¸Á¶ 171
¡´±×¸²2-30¡µ ±¸Á¶¼¼¶ó¹Í ºÎÇ°¼ÒÀç Á¦Á¶°øÁ¤µµ 173
¡´±×¸²2-31¡µ ºñ»êȹ° ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ °¡Ä¡»ç½½ 173
¡´±×¸²2-32¡µ CVD °øÁ¤ÀåÄ¡¿Í ½Ä°¢°øÁ¤ ÀåÄ¡ ³» ESC 174
¡´±×¸²2-33¡µ Monopolar ESC ±¸Á¶ ¹× ȸ·Î 175
¡´±×¸²2-34¡µ Bipolar ESC ±¸Á¶ ¹× ȸ·Î 175
¡´±×¸²2-35¡µ Àç·á ¹× ±¸µ¿¿ø¸®¿¡ µû¸¥ Á¤Àüô ºÐ·ù 176
¡´±×¸²2-36¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ´Ü°è °³³äµµ 189
¡´±×¸²2-37¡µ ¹ÝµµÃ¼ CVD ¹æ½ÄÀÇ Á¾·ù 192
¡´±×¸²2-38¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷°ú ÀåÄ¡ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå·ü 195
¡´±×¸²2-39¡µ Applied MaterialsÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ 205
¡´±×¸²2-40¡µ LAM ResearchÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ 206
¡´±×¸²2-41¡µ Tokyo ElectronÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ 207
¡´±×¸²2-42¡µ ¿øÀÍ IPSÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ÀåÄ¡ 208
¡´±×¸²2-43¡µ Áø°øÆßÇÁÀÇ ºÐ·ù 215
¡´±×¸²2-44¡µ ÀúÁø°ø ¿µ¿ª¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Áø°øÆßÇÁ VS
°íÁø°ø ¿µ¿ª¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Áø°øÆßÇÁ 216
¡´±×¸²2-45¡µ MFC Á¦Ç° 236
¡´±×¸²2-46¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåÄ¡ÀÇ ¹ë·ùüÀÎ 238
¡´±×¸²2-47¡µ ¿½Ä MFCÀÇ ÀÛµ¿ ¿ø¸® 239
¡´±×¸²2-48¡µ Â÷¾Ð½Ä MFCÀÇ ÀÛµ¿ ¿ø¸® 239
¡´±×¸²2-49¡µ MKP Â÷¾Ð½Ä MFC Á¦Ç° 247
¡´±×¸²2-50¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¸íĪ 250
¡´±×¸²2-51¡µ °áÁ¤°ÝÀÚ ¹æÇ⼺ 253
¡´±×¸²2-52¡µ SPM °øÁ¤ÀÇ ÈÇйÝÀÀ 265
¡´±×¸²2-53¡µ ¹ÝµµÃ¼ ½À½Ä ¼¼Á¤ ¹æ½Ä 269
¡´±×¸²2-54¡µ Value Chain Analysis of
Wafer Cleaning Equipment Ecosystem 271
¡´±×¸²2-55¡µ ¼¼Á¤ÀåÄ¡ÀÇ ÃâÇÏ¾× 275
¡´±×¸²2-56¡µ ¸Å¿±½Ä ¼¼Á¤ÀåÄ¡ÀÇ
±â¾÷º° ÃâÇÏÁ¡À¯À² µ¿Çâ 278
¡´±×¸²2-57¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß ÃøÁ¤/ºÐ¼®/°Ë»ç ´Ü°è 285
¡´±×¸²2-58¡µ ¹Ì¼¼±¸Á¶ °Ë»ç¸¦ À§ÇÑ
MEMS ÇÁ·Îºê Ä«µå 286
¡´±×¸²2-59¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀåÄ¡ Áø´Ü½Ã½ºÅÛ °³³äµµ 287
¡´±×¸²2-60¡µ Á¾·¡Çü Probe CardÀÇ ±âº»±¸Á¶ ºÐ·ù 306
¡´±×¸²2-61¡µ ¹é¿£µå ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ ½ÃÀå CAGR 312
¡´±×¸²2-62¡µ ÀÌÁ¾ Á¢ÇÔ °è¸é ¹× TIM ´Ü¸é ±¸Á¶ 323
¡´±×¸²2-63¡µ °íÈ¿À² À¯¹«±â
ÇÏÀ̺긮µå ¹æ¿ ¼ÒÀçÀÇ ¿ëµµ 324
¡´±×¸²2-64¡µ TIM ½ÃÀåÀÇ ¹ë·ùüÀÎ ºÐ¼® 327
¡´±×¸²2-65¡µ Àü±â¼ÒÀÚÀÇ °íÀåÀ» À¯¹ßÇÏ´Â ¿ä¼Ò 337
¡´±×¸²2-66¡µ °íºÐÀÚ, ¼¼¶ó¹Í½º, ±Ý¼Ó ¼ÒÀç Á¾·ù¿¡ µû¸¥
¿ÀüµµÀ² 337
¡´±×¸²2-67¡µ Ç÷º¼ºí µð½ºÇ÷¹ÀÌ È°¿ë »ç·Ê 342
¡´±×¸²2-68¡µ ÄÚ¿À·ÕÀδõ½ºÆ®¸®ÀÇ CPI Çʸ§ 351
¡´±×¸²2-69¡µ PET ¹æ½ÄÀÇ Æí±¤Çʸ§ 356
¡´±×¸²2-70¡µ Åõ¸í Æú¸®À̵̹å Çʸ§ 368
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ÇØ´çÀÛ°¡¿¡ ´ëÇÑ ¼Ò°³°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.
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Àüüº¸±â÷´Ü ¹Ì·¡»ê¾÷ µðÁöÅÐ ÇコÄÉ¾î ±â¼ú ½ÃÀå ...
Â÷¼¼´ë Çõ½Å ±â¼ú ICTÀ̵¿Åë½Å »ê¾÷ µ¿Çâ°ú...
½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö »ê¾÷ µ¿Çâ ¹× ÇÙ½É »ç¾÷ Àü¸Á...
÷´Ü±â¼ú·Î ÁøÈÇÏ´Â ½º¸¶Æ®ÆÊ ±â¼ú ½ÃÀå ...
µµ¾àÇÏ´Â Ç×°ø¡¤¿ìÁÖ»ê¾÷ ½ÃÀå µ¿Çâ°ú ÇâÈÄ...
ÃÖ±Ù Á¶¼±»ê¾÷ ½ÃÀå ÇöȲ°ú ±â¼ú°³¹ßÀü·«
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102-81-11670 |
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1544-1900 |
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callcenter@kyobobook.co.kr |
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01-0653 |
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¼¿ïƯº°½Ã Á¾·Î±¸ Á¾·Î 1(Á¾·Î1°¡,±³º¸ºôµù) |
±³È¯/ȯºÒ
¹ÝÇ°/±³È¯ ¹æ¹ý |
¡®¸¶ÀÌÆäÀÌÁö > Ãë¼Ò/¹ÝÇ°/±³È¯/ȯºÒ¡¯ ¿¡¼ ½Åû ¶Ç´Â 1:1 ¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¹× °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)¿¡¼ ½Åû °¡´É |
---|---|
¹ÝÇ°/±³È¯°¡´É ±â°£ |
º¯½É ¹ÝÇ°ÀÇ °æ¿ì Ãâ°í¿Ï·á ÈÄ 6ÀÏ(¿µ¾÷ÀÏ ±âÁØ) À̳»±îÁö¸¸ °¡´É |
¹ÝÇ°/±³È¯ ºñ¿ë |
º¯½É ȤÀº ±¸¸ÅÂø¿À·Î ÀÎÇÑ ¹ÝÇ°/±³È¯Àº ¹Ý¼Û·á °í°´ ºÎ´ã |
¹ÝÇ°/±³È¯ ºÒ°¡ »çÀ¯ |
·¼ÒºñÀÚÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¼Õ½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì ·¼ÒºñÀÚÀÇ »ç¿ë, Æ÷Àå °³ºÀ¿¡ ÀÇÇØ »óÇ° µîÀÇ °¡Ä¡°¡ ÇöÀúÈ÷ °¨¼ÒÇÑ °æ¿ì ·º¹Á¦°¡ °¡´ÉÇÑ »óÇ° µîÀÇ Æ÷ÀåÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì ·½Ã°£ÀÇ °æ°ú¿¡ ÀÇÇØ ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÑ Á¤µµ·Î °¡Ä¡°¡ ÇöÀúÈ÷ °¨¼ÒÇÑ °æ¿ì ·ÀüÀÚ»ó°Å·¡ µî¿¡¼ÀÇ ¼ÒºñÀÚº¸È£¿¡ °üÇÑ ¹ý·üÀÌ Á¤ÇÏ´Â ¼ÒºñÀÚ Ã»¾àöȸ Á¦ÇÑ ³»¿ë¿¡ ÇØ´çµÇ´Â °æ¿ì |
»óÇ° Ç°Àý |
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¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»ó |
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