¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã ½ÃÀå°ú ±â¼ú µ¿Çâ 25
1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ 25
1-1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ºÐ¼® 25
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 25
2) ¹üÀ§ 26
3) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 30
(1) ¼¼°è½ÃÀå 30
(2) ±¹³»½ÃÀå 34
4) ±â¾÷ºÐ¼® 36
(1) Çؿܾ÷ü 36
(2) ±¹³»¾÷ü 40
5) ÁÖ¿ä Ç÷¹ÀÌ¾î µ¿Çâ 42
6) Á¤Ã¥ ºÐ¼® 49
(1) ÇØ¿Ü Á¤Ã¥ µ¿Çâ 49
(2) ±¹³» Á¤Ã¥ µ¿Çâ 56
1-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 67
1) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ 67
(1) ÇØ¿Ü ±â¼ú µ¿Çâ 67
(2) ±¹³» ±â¼ú µ¿Çâ 74
2) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 81
2. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ü µ¿Çâ ¹× ½Ã»çÁ¡ 84
2-1. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ Ư¼º 84
2-2. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ ¿¬µµº° ½ÃÀå µ¿Çâ 87
1) 2019³â 87
2) 2020³â 90
2-3. ½Ã»çÁ¡ 92
2-4. Àåºñ °ü·Ã 5´ë ±â¾÷ 94
1) Applied Materials 95
2) ASML 96
3) LAM Research 96
4) Tokyo Electron 97
5) KLA-Tencor 98
3. K-¹ÝµµÃ¼ Àü·« 99
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú½ÃÀå ÇöȲ ºÐ¼® 109
1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ 109
1-1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¼® 109
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 109
2) ¹üÀ§ 113
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 119
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 125
(1) ¼¼°è½ÃÀå 125
(2) ±¹³»½ÃÀå 127
1-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 128
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 128
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 133
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 133
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 135
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 139
1-3. ƯÇã µ¿Çâ 141
2. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ 143
2-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¼® 143
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 143
2) ¹üÀ§ 146
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 149
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 154
(1) ¼¼°è½ÃÀå 154
(2) ±¹³»½ÃÀå 154
2-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 156
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 156
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 161
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 161
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 163
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 168
2-3. ƯÇã µ¿Çâ 170
3. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ 172
3-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ ºÐ¼® 172
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 172
2) ¹üÀ§ 175
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 177
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 183
(1) ¼¼°è½ÃÀå 183
(2) ±¹³»½ÃÀå 184
3-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 185
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 185
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 186
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 186
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 187
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 190
3-3. ƯÇã µ¿Çâ 190
4. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ 194
4-1. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ºÐ¼® 194
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 194
2) ¹üÀ§ 198
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 201
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 207
(1) ¼¼°è½ÃÀå 207
(2) ±¹³»½ÃÀå 208
4-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 210
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 210
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 214
(1) ÇØ¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ 214
(2) ±¹³» ¾÷ü µ¿Çâ 215
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 217
4-3. ƯÇã µ¿Çâ 220
5. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ 222
5-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ºÐ¼® 222
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 222
2) ¹üÀ§ 226
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 228
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 233
(1) ¼¼°è½ÃÀå 233
(2) ±¹³»½ÃÀå 233
5-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 235
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 235
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 237
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 237
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 238
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 240
5-3. ƯÇã µ¿Çâ 242
6. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ 244
6-1. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ ºÐ¼® 244
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 244
2) ¹üÀ§ 246
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 249
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 252
(1) ¼¼°è½ÃÀå 252
(2) ±¹³»½ÃÀå 254
6-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 255
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 255
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 256
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 258
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 260
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 262
6-3. ƯÇã µ¿Çâ 264
7. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° 265
7-1. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 265
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 265
2) ¹üÀ§ 267
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 270
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 275
(1) ¼¼°è½ÃÀå 275
(2) ±¹³»½ÃÀå 276
7-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 277
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 277
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 282
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 282
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 284
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 287
7-3. ƯÇã µ¿Çâ 288
8. ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° 289
8-1. ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 289
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 289
2) ¹üÀ§ 291
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 294
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 297
(1) ¼¼°è½ÃÀå 297
(2) ±¹³»½ÃÀå 298
8-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 300
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 300
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 303
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 303
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 306
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 308
8-3. ƯÇã µ¿Çâ 310
9. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° 311
9-1. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 311
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 311
2) ¹üÀ§ 313
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 317
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 320
(1) ¼¼°è½ÃÀå 320
(2) ±¹³»½ÃÀå 321
9-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 322
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 322
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 324
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 324
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 327
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 330
9-3. ƯÇã µ¿Çâ 332
10. ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ 333
10-1. ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ ºÐ¼® 333
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 333
2) ¹üÀ§ 335
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 336
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 337
(1) ¼¼°è½ÃÀå 337
(2) ±¹³»½ÃÀå 337
10-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 339
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 339
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 343
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 343
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 345
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 347
10-3. ƯÇã µ¿Çâ 349
11. Boron-SiC Edge Ring 350
11-1. Boron-SiC Edge Ring ºÐ¼® 350
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 350
2) ¹üÀ§ 352
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 353
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 356
(1) ¼¼°è½ÃÀå 356
(2) ±¹³»½ÃÀå 356
11-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 357
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 357
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 360
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 360
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 360
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 363
11-3. ƯÇã µ¿Çâ 365
¥². ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú È°¿ë 369
1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ Á¤Ã¥ ¹× ±â¾÷º° ½Ã»çÁ¡ 369
1-1. ÁÖ¿ä±¹ Àåºñ »ê¾÷ Á¤Ã¥ µ¿Çâ 369
1-2. °¢ ±¹°¡º° Àåºñ»ç 371
1-3. ÇâÈÄ ¿¹»ó ¼ºÀå·ü ¹× ½Ã»çÁ¡ 375
2. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã Áö¿ø ´ë»ó°úÁ¦ 379
2-1. 2021³â 379
2-2. 2020³â 420
¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã ½ÃÀå°ú ±â¼ú µ¿Çâ 25
1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ 25
1-1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ºÐ¼® 25
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 25
2) ¹üÀ§ 26
3) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 30
(1) ¼¼°è½ÃÀå 30
(2) ±¹³»½ÃÀå 34
4) ±â¾÷ºÐ¼® 36
(1) Çؿܾ÷ü 36
(2) ±¹³»¾÷ü 40
5) ÁÖ¿ä Ç÷¹ÀÌ¾î µ¿Çâ 42
6) Á¤Ã¥ ºÐ¼® 49
(1) ÇØ¿Ü Á¤Ã¥ µ¿Çâ 49
(2) ±¹³» Á¤Ã¥ µ¿Çâ 56
1-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 67
1) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ 67
(1) ÇØ¿Ü ±â¼ú µ¿Çâ 67
(2) ±¹³» ±â¼ú µ¿Çâ 74
2) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 81
2. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ü µ¿Çâ ¹× ½Ã»çÁ¡ 84
2-1. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ Ư¼º 84
2-2. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ ¿¬µµº° ½ÃÀå µ¿Çâ 87
1) 2019³â 87
2) 2020³â 90
2-3. ½Ã»çÁ¡ 92
2-4. Àåºñ °ü·Ã 5´ë ±â¾÷ 94
1) Applied Materials 95
2) ASML 96
3) LAM Research 96
4) Tokyo Electron 97
5) KLA-Tencor 98
3. K-¹ÝµµÃ¼ Àü·« 99
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú½ÃÀå ÇöȲ ºÐ¼® 109
1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ 109
1-1. µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¼® 109
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 109
2) ¹üÀ§ 113
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 119
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 125
(1) ¼¼°è½ÃÀå 125
(2) ±¹³»½ÃÀå 127
1-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 128
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 128
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 133
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 133
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 135
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 139
1-3. ƯÇã µ¿Çâ 141
2. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ 143
2-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¼® 143
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 143
2) ¹üÀ§ 146
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 149
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 154
(1) ¼¼°è½ÃÀå 154
(2) ±¹³»½ÃÀå 154
2-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 156
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 156
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 161
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 161
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 163
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 168
2-3. ƯÇã µ¿Çâ 170
3. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ 172
3-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ ºÐ¼® 172
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 172
2) ¹üÀ§ 175
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 177
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 183
(1) ¼¼°è½ÃÀå 183
(2) ±¹³»½ÃÀå 184
3-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 185
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 185
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 186
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 186
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 187
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 190
3-3. ƯÇã µ¿Çâ 190
4. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ 194
4-1. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ºÐ¼® 194
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 194
2) ¹üÀ§ 198
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 201
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 207
(1) ¼¼°è½ÃÀå 207
(2) ±¹³»½ÃÀå 208
4-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 210
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 210
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 214
(1) ÇØ¿Ü ¾÷ü µ¿Çâ 214
(2) ±¹³» ¾÷ü µ¿Çâ 215
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 217
4-3. ƯÇã µ¿Çâ 220
5. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç
Àåºñ 222
5-1. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ºÐ¼® 222
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 222
2) ¹üÀ§ 226
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 228
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 233
(1) ¼¼°è½ÃÀå 233
(2) ±¹³»½ÃÀå 233
5-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 235
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 235
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 237
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 237
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 238
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 240
5-3. ƯÇã µ¿Çâ 242
6. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ 244
6-1. ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ ºÐ¼® 244
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 244
2) ¹üÀ§ 246
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 249
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 252
(1) ¼¼°è½ÃÀå 252
(2) ±¹³»½ÃÀå 254
6-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 255
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 255
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 256
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 258
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 260
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 262
6-3. ƯÇã µ¿Çâ 264
7. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° 265
7-1. ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 265
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 265
2) ¹üÀ§ 267
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 270
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 275
(1) ¼¼°è½ÃÀå 275
(2) ±¹³»½ÃÀå 276
7-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 277
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 277
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 282
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 282
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 284
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 287
7-3. ƯÇã µ¿Çâ 288
8. ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° 289
8-1. ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 289
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 289
2) ¹üÀ§ 291
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 294
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 297
(1) ¼¼°è½ÃÀå 297
(2) ±¹³»½ÃÀå 298
8-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 300
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 300
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 303
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 303
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 306
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 308
8-3. ƯÇã µ¿Çâ 310
9. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° 311
9-1. ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¼® 311
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 311
2) ¹üÀ§ 313
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 317
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 320
(1) ¼¼°è½ÃÀå 320
(2) ±¹³»½ÃÀå 321
9-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 322
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 322
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 324
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 324
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 327
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 330
9-3. ƯÇã µ¿Çâ 332
10. ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ 333
10-1. ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ ºÐ¼® 333
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 333
2) ¹üÀ§ 335
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 336
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 337
(1) ¼¼°è½ÃÀå 337
(2) ±¹³»½ÃÀå 337
10-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 339
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 339
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 343
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 343
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 345
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 347
10-3. ƯÇã µ¿Çâ 349
11. Boron-SiC Edge Ring 350
11-1. Boron-SiC Edge Ring ºÐ¼® 350
1) Á¤ÀÇ ¹× Çʿ伺 350
2) ¹üÀ§ 352
3) ¿ÜºÎȯ°æºÐ¼® 353
4) ½ÃÀåȯ°æ ºÐ¼® 356
(1) ¼¼°è½ÃÀå 356
(2) ±¹³»½ÃÀå
356
11-2. ±â¼ú°³¹ß ÇöȲ 357
1) ±â¼ú°³¹ß À̽´ 357
2) ±â¾÷ µ¿Çâ 360
(1) ÇØ¿Ü ±â¾÷ µ¿Çâ 360
(2) ±¹³» ±â¾÷ µ¿Çâ 360
3) ÁÖ¿ä ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 363
11-3. ƯÇã µ¿Çâ 365
¥². ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú È°¿ë 369
1. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ Á¤Ã¥ ¹× ±â¾÷º° ½Ã»çÁ¡ 369
1-1. ÁÖ¿ä±¹ Àåºñ »ê¾÷ Á¤Ã¥ µ¿Çâ 369
1-2. °¢ ±¹°¡º° Àåºñ»ç 371
1-3. ÇâÈÄ ¿¹»ó ¼ºÀå·ü ¹× ½Ã»çÁ¡ 375
2. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã Áö¿ø ´ë»ó°úÁ¦ 379
2-1. 2021³â 379
2-2. 2020³â 420
Ç¥¸ñÂ÷
¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã ½ÃÀå°ú ±â¼ú µ¿Çâ 25
¡´Ç¥1-1¡µ ÀüÀÚºÎÇ°Àåºñ °¡Ä¡»ç½½ 26
¡´Ç¥1-2¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä Àåºñ ¹× ±â´É 27
¡´Ç¥1-3¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ(OLED) ÁÖ¿ä Àåºñ ¹× ±â´É 28
¡´Ç¥1-4¡µ ÀüÀÚºÎÇ°Àåºñ ±â¼ú¹üÀ§ 29
¡´Ç¥1-5¡µ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ½ÃÀå 30
¡´Ç¥1-6¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ½ÃÀå Àü¸Á 31
¡´Ç¥1-7¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±¹³» ½ÃÀå Àü¸Á 35
¡´Ç¥1-8¡µ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷ ½ÃÀåÁ¡À¯À² 36
¡´Ç¥1-9¡µ ÁÖ¿ä Àåºñº° ½ÃÀåÁ¡À¯À² 37
¡´Ç¥1-10¡µ ÀüÀÚºÎÇ°Àåºñ »ýÅ°è À̽´ 40
¡´Ç¥1-11¡µ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼±â¾÷ÀÇ Àåºñ¡¤¼ÒÀç
°ü°è»ç ¹× ÁöºÐÅõÀÚ ÇöȲ 41
¡´Ç¥1-12¡µ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷ ÇöȲ 42
¡´Ç¥1-13¡µ »ï¼ºµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ OLED Àåºñ ¹ë·ù üÀÎ 45
¡´Ç¥1-14¡µ LGµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ OLED Àåºñ ¹ë·ù üÀÎ 46
¡´Ç¥1-15¡µ Áß±¹ÀÇ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ À°¼º Á¤Ã¥ 49
¡´Ç¥1-16¡µ 1990³â´ë ÀϺ»-´ë¸¸ ¾÷ü °£ ±â¼úÀÌÀü ÇöȲ 53
¡´Ç¥1-17¡µ ½Å»ê¾÷ ºÐ¾ß Áß ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ
ÇâÈÄ 5³â°£ ÅõÀÚ¡¤ÀÏÀÚ¸® 59
¡´Ç¥1-18¡µ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ ÁßÁ¡ ÅõÀÚ ºÐ¾ßº° ¿¹»ê ÇöȲ 59
¡´Ç¥1-19¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä Àåºñ ¹× ±â´É 85
¡´Ç¥1-20¡µ 2020³â 1ºÐ±â Áö¿ªº° ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð 91
¡´Ç¥1-21¡µ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ÃâÇÏ·® ÃßÀÌ 91
¡´Ç¥1-22¡µ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ½ÃÀåÀÇ
ÁÖ¿ä ±â¾÷ ·©Å·(2020) 94
¡´Ç¥1-23¡µ Applied MaterialsÀÇ ÁÖ¿ä ¼ºñ½º Á¦°ø ÇöȲ 95
¡´Ç¥1-24¡µ ASMLÀÇ ÁÖ¿ä ¼ºñ½º Á¦°ø ÇöȲ 96
¡´Ç¥1-25¡µ LAM ResearchÀÇ ÁÖ¿ä ¼ºñ½º Á¦°ø ÇöȲ 97
¡´Ç¥1-26¡µ Tokyo ElectronÀÇ ÁÖ¿ä ¼ºñ½º Á¦°ø ÇöȲ 97
¡´Ç¥1-27¡µ KLA-TencorÀÇ ÁÖ¿ä ¼ºñ½º Á¦°ø ÇöȲ 98
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú½ÃÀå ÇöȲ ºÐ¼® 109
¡´Ç¥2-1¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¾ß
»ê¾÷±¸Á¶ 113
¡´Ç¥2-2¡µ ÇÙ½ÉÇ°¸ñ 120
¡´Ç¥2-3¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ½ÃÀå ÇöȲ ¹× Àü¸Á 126
¡´Ç¥2-4¡µ ±â¼úº° ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ½ÃÀå ºñÁß 126
¡´Ç¥2-5¡µ ±¹°¡º° µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ½ÃÀå ºñÁß 127
¡´Ç¥2-6¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¾ß
ÁÖ¿ä ¿¬±¸Á¶Á÷ ÇöȲ 137
¡´Ç¥2-7¡µ ±¹³» ¼±Ç࿬±¸(Á¤ºÎ/¹Î°£) 138
¡´Ç¥2-8¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú 139
¡´Ç¥2-9¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¾ß
Á߱⠱â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 140
¡´Ç¥2-10¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɱâ¼ú ¿¬±¸¸ñÇ¥ 140
¡´Ç¥2-11¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 147
¡´Ç¥2-12¡µ ±â¼úº° ºÐ·ù 148
¡´Ç¥2-13¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡ Àåºñ »ê¾÷ Ư¡ 149
¡´Ç¥2-14¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ
¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 154
¡´Ç¥2-15¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ
±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 155
¡´Ç¥2-16¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ±â¼úÀÇ º¯È 158
¡´Ç¥2-17¡µ ¼¼°è 10´ë OSAT ¾÷ü ¸ÅÃâ¾×
¹× ½ÃÀåÁ¡À¯À² 161
¡´Ç¥2-18¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß
ÁÖ¿ä ¿¬±¸Á¶Á÷ ÇöȲ 166
¡´Ç¥2-19¡µ ±¹³» ¼±Ç࿬±¸(Á¤ºÎ/¹Î°£) 167
¡´Ç¥2-20¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 168
¡´Ç¥2-21¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 168
¡´Ç¥2-22¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¿¬±¸¸ñÇ¥ 169
¡´Ç¥2-23¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 175
¡´Ç¥2-24¡µ ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤Àåºñ »ê¾÷ Ư¡ 177
¡´Ç¥2-25¡µ Àåºñº° ¼¼°è½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 183
¡´Ç¥2-26¡µ Áö¿ªº° ³ë±¤Àåºñ ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 183
¡´Ç¥2-27¡µ ¾Æ½Ã¾Æ ÅÂÆò¾ç ±¹°¡º° ³ë±¤Àåºñ
½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 184
¡´Ç¥2-28¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ ºÐ¾ß
ÁÖ¿ä ¿¬±¸Á¶Á÷ ÇöȲ 188
¡´Ç¥2-29¡µ ±¹³» ¼±Ç࿬±¸(Á¤ºÎ/¹Î°£) 189
¡´Ç¥2-30¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤ Àåºñ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 190
¡´Ç¥2-31¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤ Àåºñ
±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 190
¡´Ç¥2-32¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤ Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¿¬±¸¸ñÇ¥ 191
¡´Ç¥2-33¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 198
¡´Ç¥2-34¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ »ê¾÷ Ư¡ 204
¡´Ç¥2-35¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 207
¡´Ç¥2-36¡µ AGV Market for Semiconductors
& Electronics Industry 208
¡´Ç¥2-37¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 208
¡´Ç¥2-38¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 217
¡´Ç¥2-39¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 218
¡´Ç¥2-40¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¿¬±¸¸ñÇ¥ 219
¡´Ç¥2-41¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
»ê¾÷±¸Á¶ 226
¡´Ç¥2-42¡µ ±â¼úº° ºÐ·ù 227
¡´Ç¥2-43¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ
¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 233
¡´Ç¥2-44¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ
±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 234
¡´Ç¥2-45¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 240
¡´Ç¥2-46¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 241
¡´Ç¥2-47¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¿¬±¸¸ñÇ¥ 241
¡´Ç¥2-48¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 247
¡´Ç¥2-49¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ 248
¡´Ç¥2-50¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ 249
¡´Ç¥2-51¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 253
¡´Ç¥2-52¡µ OLED¿ë °øÁ¤ ¹× °Ë»ç ÀåºñÀÇ
¼¼°è½ÃÀå Àü¸Á 253
¡´Ç¥2-53¡µ ±¹³» µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÆгΠ»ê¾÷ÀÇ ½ÃÀå±Ô¸ð 254
¡´Ç¥2-54¡µ OLED¿ë °øÁ¤ ¹× °Ë»ç ÀåºñÀÇ
±¹³»½ÃÀå Àü¸Á 254
¡´Ç¥2-55¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¾÷
¸ÅÃâ Á¡À¯À² ¼øÀ§ 259
¡´Ç¥2-56¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ ºÐ¾ß
Çٽɿä¼Ò±â¼ú ¼±Á¤ 262
¡´Ç¥2-57¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¸®Æä¾î Àåºñ
Á߱⠱â¼ú °³¹ß ·Îµå¸Ê 263
¡´Ç¥2-58¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂøÀåºñ ¿¬°ü »ê¾÷±¸Á¶ 267
¡´Ç¥2-59¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 275
¡´Ç¥2-60¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 276
¡´Ç¥2-61¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß
ÁÖ¿ä ¿¬±¸Á¶Á÷ ÇöȲ 278
¡´Ç¥2-62¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 287
¡´Ç¥2-63¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø Àåºñ ¹× ºÎÇ° ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 287
¡´Ç¥2-64¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 292
¡´Ç¥2-65¡µ CMP ÁÖ¿ä °øÁ¤ º¯¼ö 293
¡´Ç¥2-66¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ°
¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 298
¡´Ç¥2-67¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ°
¾Æ½Ã¾Æ ¹× ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 299
¡´Ç¥2-68¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 308
¡´Ç¥2-69¡µ ¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ ¹× ºÎÇ°
±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 309
¡´Ç¥2-70¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 314
¡´Ç¥2-71¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ°
±âŸ(±â¼úº°) ºÐ·ù 316
¡´Ç¥2-72¡µ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ Àåºñ ½ÃÀåÀÇ
±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 320
¡´Ç¥2-73¡µ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤ Àåºñ ½ÃÀåÀÇ
±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 321
¡´Ç¥2-74¡µ ÁÖ¿ä°øÁ¤ Àåºñ ºÐ¼® 324
¡´Ç¥2-75¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ° ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 330
¡´Ç¥2-76¡µ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ºÎÇ°
Á߱⠱â¼ú °³¹ß ·Îµå¸Ê 331
¡´Ç¥2-77¡µ ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ ºÐ¾ß »ê¾÷±¸Á¶ 335
¡´Ç¥2-78¡µ ¿ëµµº° ºÐ·ù 335
¡´Ç¥2-79¡µ ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü ÀåºñÀÇ ±â¼ú ºÐ·ù 336
¡´Ç¥2-80¡µ ¹ÝµµÃ¼ ´ÙÀÌ½Ì Àåºñ ¼¼°è ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 337
¡´Ç¥2-81¡µ ¹ÝµµÃ¼ ´ÙÀÌ½Ì Àåºñ ±¹³» ½ÃÀå±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 338
¡´Ç¥2-82¡µ ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 347
¡´Ç¥2-83¡µ ¿þÀÌÆÛ Àý´Ü Àåºñ Á߱⠱â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê 348
¡´Ç¥2-84¡µ SiC »ê¾÷±¸Á¶ 353
¡´Ç¥2-85¡µ SiC ¼ÒÀç ¿ëµµ ¹× »ç¿ë ºÎÇ° 353
¡´Ç¥2-86¡µ źȱԼÒ(SiC)ÀÇ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ
½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 356
¡´Ç¥2-87¡µ źȱԼÒ(SiC) ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ
½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 356
¡´Ç¥2-88¡µ ±¹³» Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ±Ô¸ð ¹× Àü¸Á 356
¡´Ç¥2-89¡µ Boron-SiC edge ring ºÐ¾ß Çٽɱâ¼ú 363
¡´Ç¥2-90¡µ Boron-SiC edge ring ¼ÒÀç ºÐ¾ß
Á߱⠱â¼ú °³¹ß ·Îµå¸Ê 364
±×¸²¸ñÂ÷
¥°. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ °ü·Ã ½ÃÀå°ú ±â¼ú µ¿Çâ 25
¡´±×¸²1-1¡µ ICT »ê¾÷ºÐ·ù ºÐ·ùü°è 26
¡´±×¸²1-2¡µ ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñº° ºñÁß 30
¡´±×¸²1-3¡µ ¼¼°è µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ½ÃÀå 32
¡´±×¸²1-4¡µ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâÀÔ ÇöȲ 34
¡´±×¸²1-5¡µ ¼¼°è OLED ¶óÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ Àü¸Á(ÁÂ)
¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ý»ê´É·Â(¿ì) 51
¡´±×¸²1-6¡µ ½Å»ê¾÷ ÃßÁø È帧 57
¡´±×¸²1-7¡µ 12´ë ½Å»ê¾÷ ¹ßÀü¹æÇâ 58
¡´±×¸²1-8¡µ Á¤ºÎÀÇ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °æÀï·Â °È ´ëÃ¥ 61
¡´±×¸²1-9¡µ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °æÀï·Â °È ´ëÃ¥
ÁÖ¿ä Áö¿ø³»¿ë 62
¡´±×¸²1-10¡µ 3N ÁöÁ¤¡¤¿î¿µ ¹× Áö¿ª°ÅÁ¡ È°¿ë Áö¿øü°è 64
¡´±×¸²1-11¡µ ƯÇã ºòµ¥ÀÌÅÍ ±â¹ÝÀÇ Á¤·®Àû¡¤°´°üÀû
R&D Àü·«À» ÅëÇÑ ÅõÀÚ¼º°ú Á¦°í 64
¡´±×¸²1-12¡µ ÃÊÀúÀü·Â 3D ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ ±â¼ú 68
¡´±×¸²1-13¡µ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ»ê¾÷ ÃâÇÏ¾× ¹× ±â¾÷ ¼ö 75
¡´±×¸²1-14¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤º° ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä ±â¾÷ 85
¡´±×¸²1-15¡µ K-¹ÝµµÃ¼ º§Æ® °³³äµµ 100
¡´±×¸²1-16¡µ ¿ÜÅõ ±â¾÷ À¯Ä¡(¾È) 101
¥±. ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ±â¼ú½ÃÀå ÇöȲ ºÐ¼® 109
¡´±×¸²2-1¡µ ±âÁ¸ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú°ú À×Å©Á¬ ±â¼ú ºñ±³ 109
¡´±×¸²2-2¡µ ÀμâÀüÀÚ¿ë À×Å©Á¬ ±â¼úÀÇ ±¸¼º 110
¡´±×¸²2-3¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ÀÀ¿ë¿¡¼
µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ 110
¡´±×¸²2-4¡µ À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà ±â¼úÀÇ ¹ßÀü 111
¡´±×¸²2-5¡µ Àμ⠹æ½Ä¿¡ µû¸¥ Á¢Ã˹æ½Ä°ú
ºñÁ¢Ã˹æ½ÄÀÇ ºÐ·ù 114
¡´±×¸²2-6¡µ Àμâ ÀüÀÚ ±â¼úÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß 119
¡´±×¸²2-7¡µ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë À×Å©Á¬ ÇÁ¸°Æà Àåºñ
¿¬µµº° Ãâ¿ø µ¿Çâ 141
¡´±×¸²2-8¡µ ±¹°¡º° Ãâ¿øÇöȲ 142
¡´±×¸²2-9¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀåºñÀÀ¿ë¿¡¼
¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ 143
¡´±×¸²2
-10¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ ´Ü°è °³³äµµ 144
¡´±×¸²2-11¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ ±â¼úÀû ÇÑ°è 146
¡´±×¸²2-12¡µ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºñÀü°ú Àü·« ÁÖ¿ä ³»¿ë 151
¡´±×¸²2-13¡µ Applied MaterialsÀÇ ÆÐŰ¡ Àåºñ
NOKOTA ECD 162
¡´±×¸²2-14¡µ KLICÀÇ Çø³Ä¨ ÆÐŰ¡ Àåºñ 163
¡´±×¸²2-15¡µ Çѹ̹ݵµÃ¼ÀÇ
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ(ÆÐŰ¡ Àåºñ Æ÷ÇÔ) 164
¡´±×¸²2-16¡µ ÀÌ¿ÀÅ×Å©´Ð½ºÀÇ ·¹ÀÌÀú Àý´Ü Àåºñ 164
¡´±×¸²2-17¡µ ½Ã±×³×ƽ½ºÀÇ ÆÐÅ°Áö ·Îµå¸Ê 165
¡´±×¸²2-18¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÆÐŰ¡ Àåºñ
¿¬µµº° Ãâ¿øµ¿Çâ 170
¡´±×¸²2-19¡µ ±¹°¡º° Ãâ¿øÇöȲ 171
¡´±×¸²2-20¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀåºñÀÀ¿ë¿¡¼
¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤ Àåºñ 173
¡´±×¸²2-21¡µ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºñÀü°ú Àü·«(2019) 180
¡´±×¸²2-22¡µ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °è¿È ±¸Á¶ 187
¡´±×¸²2-23¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤/PCB ³ë±¤Àåºñ
¿¬µµº° Ãâ¿øµ¿Çâ 192
¡´±×¸²2-24¡µ ±¹°¡º° Ãâ¿øÇöȲ 193
¡´±×¸²2-25¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ ÀÀ¿ë¿¡¼
¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ 194
¡´±×¸²2-26¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ¸ðµâ 195
¡´±×¸²2-27¡µ Ŭ¸° ·ë °øÁ¤ ½Ã Àû¿ëµÇ´Â ÀÌ¼Û ·Îº¿ 195
¡´±×¸²2-28¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ¼Û Àåºñ ¿¬µµº° Ãâ¿øµ¿Çâ 220
¡´±×¸²2-29¡µ ±¹°¡º° Ãâ¿øÇöȲ 221
¡´±×¸²2-30¡µ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀåºñÀÀ¿ë¿¡¼
¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ 222
¡´±×¸²2-31¡µ ¹ÝµµÃ¼ °Ë»ç´Ü°è °³³äµµ 223
¡´±×¸²2-32¡µ ¹Ì¼¼±¸Á¶ °Ë»ç¸¦ À§ÇÑ MEMS ÇÁ·Îºê Ä«µå 224
¡´±×¸²2-33¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ Áø´Ü½Ã½ºÅÛ °³³äµµ 225
¡´±×¸²2-34¡µ ¸Þ¸ð¸® ¼±µÎ±â¾÷°ú Áß±¹ ±â¾÷ÀÇ
°øÁ¤ °³¹ß ÇöȲ ºñ±³ 231
¡´±×¸²2-35¡µ ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ÃøÁ¤/°Ë»ç Àåºñ
¿¬µµº° Ãâ¿ø µ¿Çâ 242
¡´±×¸²2-36¡µ ±¹°¡º° Ãâ¿øÇöȲ 243
¡´±×¸²2-37¡µ ·¹ÀÌÀú Àü»çÀÇ ±âº» °³³ä(»ó),
´Ù¾çÇÑ ±¸Á¶ ¹× °øÁ¤ÀÇ Àü»ç(ÇÏ) 244
¡´±×¸²2-38¡µ FPD/¸¶½ºÅ© ¸®Æä¾î °³³äµµ 246
¡´±×¸²2-39¡µ FT ÇÁ·Î¼¼½º 258
¡´±×¸²2-40¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ´Ü°è °³³äµµ 266
¡´±×¸²2-41¡µ ¹ÝµµÃ¼ CVD ¹æ½ÄÀÇ Á¾·ù 269
¡´±×¸²2-42¡µ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷°ú Àåºñ»ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå·ü 272
¡´±×¸²2-43¡µ ÁõÂøÀåºñ ½ÃÀåÁ¡À¯À²(ÁÂ) ¹×
CVD Àåºñ ½ÃÀåÁ¡À¯À²(¿ì) 275
¡´±×¸²2-44¡µ Applied materialsÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 283
¡´±×¸²2-45¡µ Lam ResearchÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 284
¡´±×¸²2-46¡µ ¿øÀÍ IPSÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 285
¡´±×¸²2-47¡µ CMP °øÁ¤ ´Ü°è °³³äµµ 290
¡´±×¸²2-48¡µ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼¼³ºñ ¸ÅÃâ ÃßÀÌ(ÁÂ),
Áß±¹ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼¼³ºñ ¾÷ü ±â¼úÇöȲ(¿ì) 297
¡´±×¸²2-49¡µ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Àåºñ ±¹³» ½ÃÀå ±Ô¸ð 299
¡´±×¸²2-50¡µ ÄÚ¹ßÆ® Àû¿ëÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¼º´É °³¼± ¸ð½Äµµ 302
¡´±×¸²2-51¡µ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ³» ¼¼Á¤ ´Ü°è 312
¡´±×¸²2-52¡µ ¹Ì¼¼È¿¡ µû¸¥ ¼¼Á¤ ¹æ½ÄÀÇ
º¯Ãµ(½À½Ä -¡µ °Ç½Ä) 315
¡´±×¸²2-53¡µ Wafer Cleaning Equipment Market
- Growth Rate by Region(2019-2024) 321
¡´±×¸²2-54¡µ Lam Research ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 325
¡´±×¸²2-55¡µ Applied Materials ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 326
¡´±×¸²2-56¡µ Tokyo Electron ¹ÝµµÃ¼ Á¾·ùº° ½Å±Ô ÆǸž×(ÁÂ)
¹× Tokyo Electron ¹ÝµµÃ¼ Àåºñº° ½Å±Ô ÆǸž×(¿ì) 326
¡´±×¸²2-57¡µ ¼¼¸Þ½º ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Á¦Ç°±º 328
¡´±×¸²2-58¡µ ÄÉÀ̾¾ÅØ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ¼ÒÀç 328
¡´±×¸²2-59¡µ ÆÄ¿¡½ºÄÉÀÌ ÆǵµÃ¼ ¼¼
Á¤ Àåºñ 329
¡´±×¸²2-60¡µ ¿þÀÌÆÛ °¡°ø ÇÁ·Î¼¼½º 333
¡´±×¸²2-61¡µ ºí·¹ÀÌµå ´ÙÀÌ½Ì 334
¡´±×¸²2-62¡µ ¿þÀÌÆÛ ±¸°æ¿¡ µû¸¥ »ý»ê¼º 334
¡´±×¸²2-63¡µ ADAMASÀÇ ¼öÁö ¹× ±×¶óÀεù ÈÙ 344
¡´±×¸²2-64¡µ ¹ÌÃ÷º¸½Ã´ÙÀ̾Ƹóµå°ø¾÷ÀÇ ·¹ÀÌÀú Á¦Ç° 345
¡´±×¸²2-65¡µ ³×¿ÂÅ×Å©ÀÇ Dicing Saw
- NDS-4200/5200 346
¡´±×¸²2-66¡µ ÅºÈ±Ô¼Ò ¿§Áö ¸µ 351
¡´±×¸²2-67¡µ SiC ¼ÒÀç¿Í ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ 352
¡´±×¸²2-68¡µ ¿øÀÍÅ¥¿£½Ã, ´Ü´Ü ¹× ´ë±¸ÅØ¿¡¼ »ý»ê ÁßÀÎ
´ëÇü ÅºÈ±Ô¼Ò ¼ÒÀç 354
¡´±×¸²2-69¡µ WPM »ç¾÷ Áß ÃÊ°í¼øµµ
SiC ¼ÒÀç»ç¾÷´ÜÀÇ ¸ñÇ¥ 355
¡´±×¸²2-70¡µ CVD SiC ¸µÀÇ Àû¿ë°øÁ¤ 359