추가 적립 안내

본 교재는 반도체 생산 공장에서 운영되고 있는 반도체 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 반도체 공정에 대한 전반적인 이해와 장비에 대한 운용·조립하는 업무 등을 수행할 수 있도록 실무 지식 및 기술에 관한 이론과 실습으로 구성된 과목이다.

Chapter？1？？반도체(Semiconductor)와？세정(Cleaning)？
1.？원？자？？
2.？반도체？
3.？세정？
4.？장비의？운영？
？？
Chapter？2？？산？화(Oxidation)？
1.？산화막의？형성？
2.？산화막의？역할？
3.？산화막의？성장에？영향을？주는？요소？
4.？산화막？성장시에？발생되는？현상？
5.？산화막의？성질？
6.？산화공정에？사용되는？전기로？
7.？LOCOS와？STI？공정？
8.？산화공정？장비？운영？
？
Chapter？3？？사진공정(Photolithography)？？
1.？사진공정이란？？
2.？사진공정의？과정？
3.？노광？장치의？인쇄기법？
4.？트랙？장치의？구성？
？？
Chapter？4？？식각공정(Etch)？
1.？식각공정？
2.？습식？식각？
3.？식각？공정？관련？전문용어(terminology)？
4.？건식？식각？
？？
Chapter？5？？확？산(Diffusion)？
1.？불순물？주입？
2.？Diffusion？
3.？Ion？Implantation？
4.？Plasma？Doping？
？？
Chapter？6？？증？착(Deposition)？
1.？증착？
2.？PVD？
3.？CVD？
4.？ALD？
5.？Metalization(금속배선공정)？
？？
Chapter？7？？집적화(Integration)？
1.？CMOS？제조？공정？

머리말

반도체산업은？인간생활을？변화시킬？수？있는？혁신제품의？창출을？주도하여？새로운？디지털？생활환경을？창출한다.？1958년？IC(집적회로)가？최초로？발명된？이후로？1981년？PC,？1987년？핸드폰,？1997년？디지털TV？등의？새로운？첨단산업을？창출하는？핵심요소로서의？역할하고？있다.？최근에는？IT기기에？이어？생활주변의？모든？사물에？확대？적용되며？새로운？생활의？필수품화가？되고？있다.？이제？반도체？산업분야는？이미？우리나라의？성장？동력산업으로서？미래？산업사회를？주도할？핵심기술로？대두되고？있으며,？LED,？태양광용？솔라셀？제조분야까지？기술이？확장되어？전문지식을？갖춘？고급인력？뿐？아니라？전문기능？인력의？양성이？필수적으로？요청되고？있는？실정이다.
？
본？교재는？반도체？생산？공장에서？운영되고？있는？반도체？장비가？최적의？운영상태가？되도록？하기？위하여？반도체？공정에？대한？전반적인？이해와？장비에？대한？운용·조립하는？업무？등을？수행할？수？있도록？실무？지식？및？기술에？관한？이론과？실습으로？구성된？과목이다.？
？？
반도체？공정장비？개론？교과는？반도체？생산？공정에？걸쳐？산업체에서？사용되는？중요？반도체？장비의？내용을？익힐？수？있도록？구성하였다.？따라서？1장에서는？반도체와？세정이론？및？장비,？2장에서는？산화공정과？산화공정에？사용하는？장비운영,？3장에서는？사진공정과？노광？장비에？대해？소개한다.？4장에서는？식각？공정？및？장비？개요,？식각？장비의？구조？및？기능,？5장에서는？확산공정에？대한？이론과？이온주임,？플라즈마？도핑에？대해？수록하였다.？6장에서는？증착공정과？관련된？내용을？설명하고？7장에서는？CMOS？제조？공정에？대해？설명하였다.
？？
이？책을？통하여？반도체？공정에？대해？이해하고？장비의？구조？및？기능을？소개함으로써？반도체？산업의？중심이？되는？반도체장비？제조운영？기술자？양성에？조금이라도？도움이？되길？저자？일동은？기대한다.？