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반도체공학 교재. 반도체 공학의 이론과 설명을 담았다.

001. [반도체 제조장치의 세계]
002. 반도체 제조장치란 무엇인가...(3)
003. 왜 반도체 제조장치인가...(5)
004. 반도체 산업에서의 반도체 제조장치...(6)
005. 반도체 제조장치 산업의 탄생...(8)
006. 웨이퍼 프로세스의 반도체 제조장치...(10)
007. 반도체 제조장치의 요소기술...(10)
008. 반도체 제조장치의 비즈니스 요소...(12)
009. 반도체 제조장치의 세계로...(14)
010. [반도체 디바이스의 제조공정]
011. 반도체 디바이스의 제조와 그 특징...(19)
012. 반도체 디바이스의 제조공정...(20)
013. 반도체 디바이스의 기본구조...(21)
014. 디바이스 제조공정의 기본흐름...(24)
015. 기본 프로세스 기술...(26)
016. 복합 프로세스 기술...(29)
017. 반도체 디바이스 제조의 3요소...(32)
018. [반도체 제조장치의 기술사]
019. 반도체 디바이스의 진보와 제조장치...(37)
020. 기술로 본 반세기...(40)
021. 제조장치에서 본 반세기...(42)
022. 기술사의 도달점...(49)
023. [반도체 제조장치의 종류와 역할]
024. 반도체 제조장치의 범위...(53)
025. 반도체 제조장치의 분류...(54)
026. 웨이퍼 프로세스용 제조장치의 개요...(61)
027. 프로세스 인티그레이션의 임팩트...(63)
028. [반도체 제조장치의 구성과 방식]
029. 반도체 제조장치의 기본구성...(67)
030. 반도체 제조장치의 제반 구성...(69)
031. 프로세스 인티그레이션에 대응하는 방식...(75)
032. 웨이퍼 대구경화에 대한 대응...(77)
033. 반도체 제조장치의 표준화...(77)
034. 반도체 공장의 자동화에 대한 대응...(79)
035. 생산형태에 대한 반응...(80)
036. 반도체 제조장치의 차세대 방식...(81)
037. [각종 반도체 제조장치의 개요]
038. 웨이퍼 프로세스용 반도체 제조장치...(85)
039. 세정장치...(87)
040. 열처리장치...(97)
041. 불순물 도입장치...(104)
042. 박막형성장치...(111)
043. 리소그래피 장치...(120)
044. 평탄화 장치...(132)
045. [반도체 제조장치의 현장]
046. 반도체 제조장치의 현실...(143)
047. 반도체 제조장치의 도입과 시험가동...(145)
048. 납입 초기의 반도체 제조장치...(149)1
049. 장치의 가동률...(149)
050. 장치의 정비...(152)
051. 코스트 오브 어너십...(155)
052. 반도체 제조장치의 현장...(156)
053. [반도체 제조장치의 기술요소]
054. 종합기술적 산물로서의 반도체 제조장치...(161)
055. 재료기술...(161)
056. 진공기술...(164)
057. 광 응용기술...(166)
058. 빔 응용기술...(168)
059. 화학반응의 응용...(169)
060. 환경제어기술...(171)
061. 컴퓨터 응용기술...(172)
062. [반도체 제조장치 기술의 로드맵]
063. 기술 로드맵의 중요성...(177)
064. 반도체 디바이스 기술의 로드맵...(178)
065. 반도체 제조기술의 로드맵...(180)
066. 반도체 제조장치의 기술 로드맵...(183)
067. 반도체 제조장치의 과제...(185)
068. 디바이스와 프로세스의 심플화...(189)
069. [21세기의 반도체 제조장치]
070. 반도체 제조장치는 "진보"해 왔는가...(193)
071. 반도체 기술에서 일본과 미국의 관계는 어떻게 진행되…...(193)
072. 프로세스 기술자의 장치는 어떤 관계인가...(194)
073. 반도체 제조장치의 절대평가는 가능한가...(195)
074. 반도체 제조장치의 독창성...(196)
075. 반도체 제조장치의 중요과제...(197)
076. 반도체 제조장치의 도전과 극복...(198)
077. 21세기의 반도체 제조장치...(199)
078. 심층적인 제조장치의 학습을 위한 참고서....(201)
079. 인용문헌 및 자료...(204)
080. 찾아보기...(207)

머리말
본서는 전부 10장으로 이루어졌는데 다소 변형된 구성을 택하기로 했다. 반도체 제조장치의 세계를 들여다 볼 때에는, 산업이라는 커다란 시야로 볼 필요가 있다. 기술적, 사업적으로 보았을 때, 어디에 초점을 맞추어야 할 것인지 알 수 있어야 한다. 그러나 처음으로 반도체 제조장치의 세계에 발을 내딛는 독자는, 0장에서 산업으로서의 반도체 제조장치를 해설하였는데, 이해하기 어려울 경우에는 그 부분을 건너 뛰고 읽어도 좋다. 그리고 마지막 장인 제9장을 다 읽은 다음 제0장으로 돌아가, 이것을 제10장으로서 읽어 볼 수 있다면 반도쳄 제조장치의 세계를 대강 이해했다는 자신감을 가져도 좋을 것이다.

나머지 제1장에서는 반도체 디바이스의 제조공정과의 관계를, 제2장에서는 반도체 제조기술의 진보와 함께 어떤 의미에서는 그 진보의 역사 그 자체였다고 말할 수 있는 장치의 기술 변천사를 회고해 본다. 제3장부터 제5장까지는 반도체 제조장치가 가는 역할, 분류, 구조, 방식 그리고 장치별로 각론에 들어가 보기로 한다.

제6장에서는 반도체 공장의 현장 관점에서 반도체 제조장치를 바라본다. 제7장 이후는 보다 넓은 시야로 반도체 제조에 대해 생각해 보기 위하여 준비하였는데, 여기에서는 반도체 제조장치의 기본적 요소, 제8장에서는 반도체 제조장치 기술의 로드 맵, 제9장에서는 21세기의 반도체 장치에 대해서 서술한다. 반도체 제조장치의 세계는 기술적으로든, 산업적으로든 다른 분야에 없는 특수성을 가지고 있다는 것을 보여준다.

역자 소개
부산 출생. 고려대학교 전자공학과 졸업. 삼성전자 기흥공장 공장장 역임.
現 (주)코웰 대표.