|
|
|
|
|
|
|
Ã¥³»¿ë |
|
¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Àº Àΰ£»ýÈ°À» º¯È½Ãų ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÁ¦Ç°ÀÇ Ã¢ÃâÀ» ÁÖµµÇÏ¿© »õ·Î¿î µðÁöÅÐ »ýȰȯ°æÀ» âÃâÇÑ´Ù. 1958³â IC(ÁýÀûȸ·Î)°¡ ÃÖÃÊ·Î ¹ß¸íµÈ ÀÌÈÄ·Î 1981³â PC, 1987³â ÇÚµåÆù, 1997³â µðÁöÅÐTV µîÀÇ »õ·Î¿î ÷´Ü»ê¾÷À» âÃâÇÏ´Â Çٽɿä¼Ò·Î¼ÀÇ ¿ªÇÒÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â IT±â±â¿¡ ÀÌ¾î »ýÈ°ÁÖº¯ÀÇ ¸ðµç »ç¹°¿¡ È®´ë Àû¿ëµÇ¸ç »õ·Î¿î »ýÈ°ÀÇ ÇʼöÇ°È°¡ µÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌÁ¦ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ºÐ¾ß´Â ÀÌ¹Ì ¿ì¸®³ª¶óÀÇ ¼ºÀå µ¿·Â»ê¾÷À¸·Î¼ ¹Ì·¡ »ê¾÷»çȸ¸¦ ÁÖµµÇÒ Çٽɱâ¼ú·Î ´ëµÎµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, LED, ž籤¿ë ¼Ö¶ó¼¿ Á¦Á¶ºÐ¾ß±îÁö ±â¼úÀÌ È®ÀåµÇ¾î Àü¹®Áö½ÄÀ» °®Ãá °í±ÞÀη »Ó ¾Æ´Ï¶ó Àü¹®±â´É ÀηÂÀÇ ¾ç¼ºÀÌ ÇʼöÀûÀ¸·Î ¿äûµÇ°í ÀÖ´Â ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤Àåºñ1 ±³°ú´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¼ø¼ Áß ¾ÕºÎºÐ¿¡ À§Ä¡ÇÏ´Â ³ë±¤(Æ÷Åä)°øÁ¤, Æ®·¢°øÁ¤, ½Ä°¢(¿¡Äª)°øÁ¤, ¿¡½Ì°øÁ¤, ±×¸®°í °¢ ´Ü°è¸¶´Ù »ý»êÇ°ÀÇ ÀÌ»ó À¯¹«¸¦ ÆÇ´ÜÇÏ´Â ÃøÁ¤Àåºñ µî »ê¾÷ü¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Áß¿ä ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ ½Ç¹«¸¦ ÀÍÈú ¼ö ÀÖµµ·Ï ±¸¼ºÇÏ¿´´Ù. µû¶ó¼ 1Àå¿¡¼´Â ³ë±¤°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ¼Ò°³¿Í ÁÖ¿äÀåºñ ±¸¼º ¹× Àåºñ ¿î¿µ, 2Àå¿¡¼´Â Æ®·¢°øÁ¤ °³¿ä ¹× ÀåºñÀÇ °¢ ¸ðµâº° ¿ªÇÒ 3Àå¿¡¼´Â ´Ü°èº° ÃøÁ¤Àåºñ ¼Ò°³¿Í ÁÖ¿ä ÃøÁ¤Àåºñ ¼³¸í, 4Àå¿¡¼´Â ½Ä°¢ °øÁ¤ ¹× Àåºñ °³¿ä, ½Ä°¢ ÀåºñÀÇ ±¸Á¶ ¹× ±â´É, ½Ä°¢ ÀåºñÀÇ À¯Áöº¸¼ö, 5Àå¿¡¼´Â ¿¡½Ì °øÁ¤ ¹× Àåºñ °³¿ä, ¿¡½Ì ÀåºñÀÇ ±¸Á¶ ¹× ±â´É, ÇöóÁ À̷п¡ ´ëÇÑ ³»¿ëÀ» ¼ö·ÏÇÏ¿´´Ù.
ÀÌ Ã¥À» ÅëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ ÀåºñÀÇ ±¸Á¶ ¹× ±â´É, À¯Áöº¸¼ö¿¡ °ü·ÃµÈ À̷аú ±â¼úµîÀÌ ¼Ò°³µÇ°í, ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Áß½ÉÀÌ µÇ´Â ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Á¦Á¶¿î¿µ ±â¼úÀÚ ¾ç¼º¿¡ Á¶±ÝÀÌ¶óµµ µµ¿òÀÌ µÇ±æ ÀúÀÚ Àϵ¿Àº ±â´ëÇÑ´Ù. |
|
¸ñÂ÷ |
|
Chapter 1 ³ë±¤°øÁ¤(Lithography Process) Àåºñ
1. ³ë±¤°øÁ¤ °³¿ä
2. Æ÷Åä°øÁ¤ ¹× ÀåºñÀÇ Àüü ±¸¼º ¹× ¿ªÇÒ
3. ³ë±¤Àåºñ ¿¹¹æ Á¡°Ë ¹× ±Ô°Ý
4. Àåºñ ¿î¿µ
Chapter 2 Æ®·¢(Track)°øÁ¤ Àåºñ
1. Æ®·¢ °øÁ¤ °³¿ä
2. Æ®·¢ ÀåºñÀÇ Àüü ±¸¼º ¹× ¿ªÇÒ
3. Æ®·¢ ÀåºñÀÇ ±â´É Moduleº° ±¸¼º ¿ªÇÒ
4. ¸ðµâº° ÁÖ¿ä ±¸¼ºÇ° ¹× ¿ªÇÒ
5. ¸ðµâº° °íÀå Áø´Ü ¹× ÇØ°á ¹æ¹ý
6. Àåºñ¿î¿µ
Chapter 3 ÃøÁ¤Àåºñ
1. ÃøÁ¤ ÀåºñÀÇ ÀÌÇØ
2. Particle ÃøÁ¤ Àåºñ
3. ÆÐÅÏ °Ë»ç ÃøÁ¤Àåºñ
4. µÎ²²(Thickness) ÃøÁ¤Àåºñ
5. CD SEM(ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ Àåºñ)
(Critical Dimension Scanning Electron Microscopy)
6. ¿À¹ö·¹ÀÌ(Overlay) Àåºñ
Chapter 4 ½Ä°¢°øÁ¤(Etching) Àåºñ
1. ½Ä°¢Àåºñ °³¿ä
2. ½Ä°¢ ÀåºñÀÇ ±âº» ±¸Á¶
3. ½Ä°¢ÀåÄ¡ TE8500ÀÇ °³¿ä
4. TE8500 Àåºñ ¿î¿µ
Chapter 5 ¿¡½Ì°øÁ¤(Ashing) Àåºñ
1. ¿¡½Ì(Ashing) °øÁ¤ °³¿ä
2. ÀåºñÀÇ Àüü ±¸¼º ¹× ¿ªÇÒ
3. ¸ðµâº° °íÀå Áø´Ü ¹× ÇØ°á¹æ¹ý
4. °íÀå °Ë»ç(Trouble Shooting)
5. ¼³ºñ ¿î¿µ(Operation) |
|
|
|
|
|
|
|
Ãâ°í¾È³» |
|
|
Ãâ°í¶õ ÀÎÅÍÆÄÅ© ¹°·ùâ°í¿¡¼ µµ¼°¡ Æ÷ÀåµÇ¾î ³ª°¡´Â ½ÃÁ¡À» ¸»Çϸç, ½ÇÁ¦ °í°´´Ô²²¼ ¼ö·ÉÇϽô ½Ã°£Àº »óÇ°Áغñ¿Ï·áÇØ Ãâ°íÇÑ ³¯Â¥ + Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°ÀÇ Àç°í°¡ ÃæÁ·ÇÒ ½Ã¿¡ ÀÏ°ý Ãâ°í¸¦ ÇÕ´Ï´Ù. |
|
ÀϺΠÀç°í¿¡ ´ëÇÑ Ãâ°í°¡ ÇÊ¿äÇÒ ½Ã¿¡´Â ´ã´çÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ¿¬¶ôÇϽðųª, °í°´¼¾ÅÍ(°í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ´ë·®±¸¸Å´Â ¹è¼Û·á°¡ ¹«·áÀÔ´Ï´Ù. |
|
´Ü, 1°³ÀÇ »óÇ°À» ´Ù¼öÀÇ ¹è¼ÛÁö·Î ÀÏ°ý ¹ß¼Û½Ã¿¡´Â 1°³ÀÇ ¹è¼ÛÁö´ç 2,000¿øÀÇ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµË´Ï´Ù. |
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä! |
|
|
°í°´´Ô²²¼ ÁÖ¹®ÇϽŠµµ¼¶óµµ µµ¸Å»ó ¹× ÃâÆÇ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
(´Ü, Åä/ÀÏ¿äÀÏ Á¦¿Ü) |
|
|
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯/¹ÝÇ°/º¸ÁõÁ¶°Ç ¹× Ç°Áúº¸Áõ ±âÁØÀº ¼ÒºñÀڱ⺻¹ý¿¡ µû¸¥ ¼ÒºñÀÚ ºÐÀï ÇØ°á ±âÁØ¿¡ µû¶ó ÇÇÇظ¦ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ È¯ºÒ ¹æ¹ý ¹× ȯºÒÀÌ Áö¿¬µÉ °æ¿ì 1:1¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ô Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»óÀÇ ºÐÀïó¸® µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº ¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á±âÁØ(°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ µû¶ó ºñÇØ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀ¸½Å ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ùÀ̳», ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
|
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü) |
|
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
|
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. |
|
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|