|
|
|
|
|
|
|
¸ñÂ÷ |
|
Á¦1Àå ¹ÝµµÃ¼
1. ¹ÝµµÃ¼(Semiconductor)¶õ?
1.1 ¿¡³ÊÁö ¹êµå
1.2 ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤
1.3 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
1.4 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ °úÁ¤ÀÇ º¯Ãµ
1.5 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ ´ÜÀ§°øÁ¤
Á¦2Àå Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ
2. Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(Photolithography)
2.1 °³¿ä
2.2 Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®
2.3 Æ÷Å丶½ºÅ©¿Í ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛ
2.4 ±¤¿ø
2.5 ±âŸ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú
2.6 Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤»ó ¹®Á¦Á¡
Á¦3Àå ¿¡Äª
3. ¿¡Äª(Etching)
3.1 °³¿ä
3.2 ½À½Ä ¿¡Äª
3.3 °Ç½Ä ¿¡Äª
3.4 ½À½Ä¿¡Äª°ú °Ç½Ä¿¡ÄªÀÇ ºñ±³
3.5 °íüÀÇ °áÁ¤ ¸é°ú ¿¡ÄªÀÇ ¹æÇ⼺
Á¦4Àå CMP
4. CMP(Chemical Mechanical Polishing)
4.1 °³¿ä
4.2 CMP ½½·¯¸®(slurry)¿Í ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁò
4.3 ¿¬¸¶ Æеå(polishing pad)
4.4 CMP °øÁ¤ÀÇ À̽´
4.5 CMP°¡ Àû¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦5Àå »êÈ
5. »êÈ(Oxidation)
5.1 °³¿ä
5.2 SiÀÇ »êȹÝÀÀ
5.3 SiÀÇ »êÈ¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¿äÀÎ
Á¦6Àå È®»ê
6. È®»ê(Diffusion)
6.1 È®»ê °øÁ¤ ¹× ¹ÝÀÀ
6.2 FickÀÇ ¹ýÄ¢°ú È®»ê°è¼ö
6.3 È®»êÀÇ ¿¹
6.4 Á¢ÇÕ(Junction)
6.5 Àü±âÀû ¼ºÁú
Á¦7Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ
7. ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation)
7.1 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤¿¡ µû¸¥ ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ
7.2 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÈÄÀÇ µµÆÝÆ® ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ º¯È
7.3 °íÁýÀûȸ¦ À§ÇÑ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤
7.4 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦8Àå ¹Ú¸· ÁõÂø
8. ¹Ú¸· ÁõÂø(Thin Film Deposition)
8.1 ±âü Ãæµ¹ ÀÌ·Ð
8.2 ¹°¸®Àû ±â»ó ÁõÂø(Physical vapor deposition)
8.3 ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(Chemical vapor deposition)
Á¦9Àå ¸ÎÀ½¸» |
|
|
|
ÀúÀÚ
|
|
ÀÓ»ó¿ì
¿¬¼¼´ëÇб³ È°ø»ý¸í°øÇаú ±³¼ö
|
|
|
ÀÓ»ó¿ì
|
|
|
|
|
|
|
|
Ãâ°í¾È³» |
|
|
Ãâ°í¶õ ÀÎÅÍÆÄÅ© ¹°·ùâ°í¿¡¼ µµ¼°¡ Æ÷ÀåµÇ¾î ³ª°¡´Â ½ÃÁ¡À» ¸»Çϸç, ½ÇÁ¦ °í°´´Ô²²¼ ¼ö·ÉÇϽô ½Ã°£Àº »óÇ°Áغñ¿Ï·áÇØ Ãâ°íÇÑ ³¯Â¥ + Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°ÀÇ Àç°í°¡ ÃæÁ·ÇÒ ½Ã¿¡ ÀÏ°ý Ãâ°í¸¦ ÇÕ´Ï´Ù. |
|
ÀϺΠÀç°í¿¡ ´ëÇÑ Ãâ°í°¡ ÇÊ¿äÇÒ ½Ã¿¡´Â ´ã´çÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ¿¬¶ôÇϽðųª, °í°´¼¾ÅÍ(°í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ´ë·®±¸¸Å´Â ¹è¼Û·á°¡ ¹«·áÀÔ´Ï´Ù. |
|
´Ü, 1°³ÀÇ »óÇ°À» ´Ù¼öÀÇ ¹è¼ÛÁö·Î ÀÏ°ý ¹ß¼Û½Ã¿¡´Â 1°³ÀÇ ¹è¼ÛÁö´ç 2,000¿øÀÇ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµË´Ï´Ù. |
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä! |
|
|
°í°´´Ô²²¼ ÁÖ¹®ÇϽŠµµ¼¶óµµ µµ¸Å»ó ¹× ÃâÆÇ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
(´Ü, Åä/ÀÏ¿äÀÏ Á¦¿Ü) |
|
|
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯/¹ÝÇ°/º¸ÁõÁ¶°Ç ¹× Ç°Áúº¸Áõ ±âÁØÀº ¼ÒºñÀڱ⺻¹ý¿¡ µû¸¥ ¼ÒºñÀÚ ºÐÀï ÇØ°á ±âÁØ¿¡ µû¶ó ÇÇÇظ¦ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ È¯ºÒ ¹æ¹ý ¹× ȯºÒÀÌ Áö¿¬µÉ °æ¿ì 1:1¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ô Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»óÀÇ ºÐÀïó¸® µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº ¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á±âÁØ(°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ µû¶ó ºñÇØ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀ¸½Å ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ùÀ̳», ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
|
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü) |
|
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
|
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. |
|
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|