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Fundamentals of Semiconductor Fabrication
2013년 9월 9일 이후 누적수치입니다.
- 저 : Sze, Simon M.
- 출판사 : Wiley
- 발행 : 2003년 04월 01일
- 쪽수 : 0
- ISBN : 9780471232797
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상품권
목차
| Introduction | |
| Crystal Growth | |
| Silicon Oxidation | |
| Photolithography | |
| Etching | |
| Diffusion | |
| Ion Implantation | |
| Film Deposition | |
| Process Integration | |
| IC Manufacturing | |
| Future Trends and Challenges | |
| List of Symbols | |
| International System of Units | |
| Unit Prefixes | |
| Greek Alphabet | |
| Physical Constants | |
| Properties of Si and GaAs at 300 K | |
| Some Properties of the Error Function | |
| Basic Kinetic Theory of Gases | |
| Suprem Commands | |
| Running Prolith | |
| Percentage Points of the t Distribution | |
| Percentage Points of the F Distribution | |
| Index | |
| Table of Contents provided by Publisher. All Rights Reserved. |
책소개
Offers a basic, up-to-date introduction to semiconductor fabrication technology, including both the theoretical and practical aspects of all major steps in the fabrication sequence Presents comprehensive coverage of process sequences Introduces readers to modern simulation tools Addresses the practical aspects of integrated circuit fabrication Clearly explains basic processing theory
저자소개
| 생년월일 | - |
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