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초고진공이 여는 세계 : 하이테크를 뒷받침하는 기초지식
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책소개
21세기 최첨단 기술은 진공 기술에 있다
이 책은 수식을 쓰지 않고 독자에게 원자, 분자, 이온, 전자, 플라스마 등에 익숙해지도록 하려는 의도로 만들어졌다. 진공은 그런 입자의 한개 한 개의 행동을 상상하면 이해가 빠르기 때문이다. 보통 '진공'이란 공간 속의 기체분자가 적은 상태라고 생각하고 있다. 그러나 더욱 '청정'의 극한을 추구하면 여러 가지 변화가 일어난다. 또한 기술혁신에서 가능해지는 과정을 서술하고 있다.
출판사 서평
흔히 진공이라는 단어를 들으면 우주 공간을 생각하게 된다. 그러나 엄연히 우주 공간에도 수많은 먼지들이 존재하고 있다고 한다. 이런 우주 먼지와 물질들이 없었다면 우주는 아무런 반응이 없는 암흑과 같은 곳이 되고 말았을 것이다. 이처럼 먼지(dust)는 우리 눈에 보이지 않지만 항상 존재하고 있다. 그러나 오늘날 최첨단 기계장비와 반도체 등은 이러한 이물질이 없는 곳에서 공정이 이루어져야 한다. 미세한 물질에도 민감하게 반응하는 이런 과정은 결국 극도의 진공(?) 상태를 요구하고 있다. 따라서 초고진공 기술이 미래의 최첨단 기술을 구연하는 데 필수적인 요소인 것이다.
이 책은 최고진공이 발전된 이야기뿐만 아니라 진공의 기초 지식에 필요한 주제들로 가득 차 있다. ‘초고진공’에 관한 기초 지식을 알고 싶은 독자들에게 큰 도움이 될 것이다.
목차
머리말
1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전
2. 진공 공업이 더듬어온 길
3. 가장 눈부신 발전 - 진공을 이용한 성막 공업
4. 감기 증착
5. 이온 플레이팅
6. 플라스마 프로세스 - 스퍼터링
7. 초고진공Ⅰ - 깨끗한 진공을 만든다
8. 초고진공Ⅱ - 표면과학과 분자선 에피택시얼 성장
9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술
10. 거대 과학과 초고진공 기술 - 앞으로의 진전
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