±¹³»µµ¼
Àü°øµµ¼/´ëÇб³Àç
°øÇаè¿
Àü±âÀüÀÚ°øÇÐ
Á¤°¡ |
15,000¿ø |
---|
15,000¿ø
450P (3%Àû¸³)
ÇÒÀÎÇýÅÃ | |
---|---|
Àû¸³ÇýÅà |
|
|
|
Ãß°¡ÇýÅÃ |
|
À̺¥Æ®/±âȹÀü
¿¬°üµµ¼
»óÇ°±Ç
ÀÌ»óÇ°ÀÇ ºÐ·ù
Ã¥¼Ò°³
¿©·¯ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ ±¹Á¦ °æÀï·ÂÀ» ÀҾ°í ÀÖ´Â ¿ì¸®³ª¶ó¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº À¯ÀÏÇÏ°Ô ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±â¼úÀû ¿ìÀ§¿Í ½ÃÀå Á¡À¯À²À» °¡Áö°í ÀÖ´Â ºÐ¾ßÀÌ´Ù. ƯÈ÷, 4Â÷»ê¾÷Çõ¸íÀÇ µµ·¡¿¡ µû¶ó »ý°Ü³ª´Â ¶Ç ¾ÕÀ¸·Î »ý°Ü³¯ ¿©·¯ °¡Áö »õ·Î¿î »ê¾÷µéÀº ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÇʼöÀûÀ¸·Î ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. õ¿¬ÀÚ¿øÀÌ ºÎÁ·ÇÏ°í ¡°»ç¶÷¡±À̶ó´Â ÀÚ¿ø ¹Û¿¡ ¾ø´Â ¿ì¸®³ª¶ó´Â ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú, »ç°í, ¹®È, °ü½ÀÀÇ º¯È¿¡ ¼öµ¿ÀûÀ¸·Î ²ø·Á°¡±â º¸´Ù´Â À̸¦ ¸®µåÇØ ³ª°¡¾ß ÇÒ °ÍÀ̸ç, ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶óÀÇ °æÁ¦¸¦ ¶°¹ÞÄ¡°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ Á¶±ÝÀÌ¶óµµ ´õ ¿À·¡ ¼¼°è¿¡¼ ¼±µµÀûÀÎ À§Ä¡¸¦ Â÷ÁöÇÏ°Ô Çϱâ À§Çؼ´Â ¹«¾ùº¸´Ù ÀηÂÀÇ °³¹ß°ú ±³À°ÀÌ ÃÖ¿ì¼±ÀÌ µÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. º» µµ¼´Â ±×·¯ÇÑ ¿ø´ëÇÑ ¸ñÇ¥¸¦ °¡Áö°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ 8´ë °øÁ¤ ÇϳªÇϳªÀÇ ¹è°æ°ú ±× ¿ø¸®¿¡ ´ëÇØ ±âÃÊÀûÀÎ ÈÇаú ¹°¸®Àû Áö½ÄÀÌ ÀÖÀ¸¸é À̸¦ ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. 1ÀåºÎÅÍ 8Àå¿¡¼´Â ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤ Çü¼º, Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ, ¿¡Äª, CMP, »êÈ, È®»ê, ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ, ¹Ú¸· ÁõÂø µîÀÇ °øÁ¤À» ´Ù·ç°í ÀÖÀ¸¸ç 9Àå¿¡¼´Â ¿©·¯ Çö»óÀÇ °æÀï°úÁ¤ ¾È¿¡¼ °áÁ¤µÇ´Â ¼ö¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤µéÀÇ °á°ú¸¦ Á¤¸®ÇÑ´Ù. º» µµ¼´Â ´ëÇÐ ¶Ç´Â ´ëÇпø¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ ±³°ú¿ëÀ¸·Îµµ ÇлýµéÀÇ ±³À°À» À§ÇØ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Ù¸¥ ÇÑÆíÀ¸·Î´Â ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç ¹× °ü·ÃµÈ ¾÷°è¿¡ ÃëÁ÷À» ÁغñÇÏ´Â À̵鿡°Ô ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØÀÇ ÆøÀ» ³ÐÇô ÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í ¹Ï´Â´Ù.
¸ñÂ÷
Á¦1Àå ¹ÝµµÃ¼
1. ¹ÝµµÃ¼(Semiconductor)¶õ?
1.1 ¿¡³ÊÁö ¹êµå
1.2 ½Ç¸®ÄÜ °áÁ¤
1.3 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ
1.4 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ °úÁ¤ÀÇ º¯Ãµ
1.5 ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛÀ» À§ÇÑ ´ÜÀ§°øÁ¤
Á¦2Àå Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ
2. Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ(Photolithography)
2.1 °³¿ä
2.2 Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®
2.3 Æ÷Å丶½ºÅ©¿Í ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛ
2.4 ±¤¿ø
2.5 ±âŸ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú
2.6 Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤»ó ¹®Á¦Á¡
Á¦3Àå ¿¡Äª
3. ¿¡Äª(Etching)
3.1 °³¿ä
3.2 ½À½Ä ¿¡Äª
3.3 °Ç½Ä ¿¡Äª
3.4 ½À½Ä¿¡Äª°ú °Ç½Ä¿¡ÄªÀÇ ºñ±³
3.5 °íüÀÇ °áÁ¤ ¸é°ú ¿¡ÄªÀÇ ¹æÇ⼺
Á¦4Àå CMP
4. CMP(Chemical Mechanical Polishing)
4.1 °³¿ä
4.2 CMP ½½·¯¸®(slurry)¿Í ¹ÝÀÀ ¸ÞÄ«´ÏÁò
4.3 ¿¬¸¶ Æеå(polishing pad)
4.4 CMP °øÁ¤ÀÇ À̽´
4.5 CMP°¡ Àû¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦5Àå »êÈ
5. »êÈ(Oxidation)
5.1 °³¿ä
5.2 SiÀÇ »êȹÝÀÀ
5.3 SiÀÇ »êÈ¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¿äÀÎ
Á¦6Àå È®»ê
6. È®»ê(Diffusion)
6.1 È®»ê °øÁ¤ ¹× ¹ÝÀÀ
6.2 FickÀÇ ¹ýÄ¢°ú È®»ê°è¼ö
6.3 È®»êÀÇ ¿¹
6.4 Á¢ÇÕ(Junction)
6.5 Àü±âÀû ¼ºÁú
Á¦7Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ
7. ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ(Ion Implantation)
7.1 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤¿¡ µû¸¥ ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ
7.2 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÈÄÀÇ µµÆÝÆ® ³óµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ º¯È
7.3 °íÁýÀûȸ¦ À§ÇÑ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤
7.4 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ °øÁ¤ÀÇ ¿¹
Á¦8Àå ¹Ú¸· ÁõÂø
8. ¹Ú¸· ÁõÂø(Thin Film Deposition)
8.1 ±âü Ãæµ¹ ÀÌ·Ð
8.2 ¹°¸®Àû ±â»ó ÁõÂø(Physical vapor deposition)
8.3 ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(Chemical vapor deposition)
Á¦9Àå ¸ÎÀ½¸»
ÀúÀÚ¼Ò°³
»ý³â¿ùÀÏ | - |
---|
ÇØ´çÀÛ°¡¿¡ ´ëÇÑ ¼Ò°³°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.
ÁÖ°£·©Å·
´õº¸±â»óÇ°Á¤º¸Á¦°ø°í½Ã
À̺¥Æ® ±âȹÀü
Àü°øµµ¼/´ëÇб³Àç ºÐ¾ß¿¡¼ ¸¹Àº ȸ¿øÀÌ ±¸¸ÅÇÑ Ã¥
ÆǸÅÀÚÁ¤º¸
»óÈ£ |
(ÁÖ)±³º¸¹®°í |
---|---|
´ëÇ¥ÀÚ¸í |
¾Èº´Çö |
»ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£ |
102-81-11670 |
¿¬¶ôó |
1544-1900 |
ÀüÀÚ¿ìÆíÁÖ¼Ò |
callcenter@kyobobook.co.kr |
Åë½ÅÆǸž÷½Å°í¹øÈ£ |
01-0653 |
¿µ¾÷¼ÒÀçÁö |
¼¿ïƯº°½Ã Á¾·Î±¸ Á¾·Î 1(Á¾·Î1°¡,±³º¸ºôµù) |
±³È¯/ȯºÒ
¹ÝÇ°/±³È¯ ¹æ¹ý |
¡®¸¶ÀÌÆäÀÌÁö > Ãë¼Ò/¹ÝÇ°/±³È¯/ȯºÒ¡¯ ¿¡¼ ½Åû ¶Ç´Â 1:1 ¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¹× °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)¿¡¼ ½Åû °¡´É |
---|---|
¹ÝÇ°/±³È¯°¡´É ±â°£ |
º¯½É ¹ÝÇ°ÀÇ °æ¿ì Ãâ°í¿Ï·á ÈÄ 6ÀÏ(¿µ¾÷ÀÏ ±âÁØ) À̳»±îÁö¸¸ °¡´É |
¹ÝÇ°/±³È¯ ºñ¿ë |
º¯½É ȤÀº ±¸¸ÅÂø¿À·Î ÀÎÇÑ ¹ÝÇ°/±³È¯Àº ¹Ý¼Û·á °í°´ ºÎ´ã |
¹ÝÇ°/±³È¯ ºÒ°¡ »çÀ¯ |
·¼ÒºñÀÚÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¼Õ½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì ·¼ÒºñÀÚÀÇ »ç¿ë, Æ÷Àå °³ºÀ¿¡ ÀÇÇØ »óÇ° µîÀÇ °¡Ä¡°¡ ÇöÀúÈ÷ °¨¼ÒÇÑ °æ¿ì ·º¹Á¦°¡ °¡´ÉÇÑ »óÇ° µîÀÇ Æ÷ÀåÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì ·½Ã°£ÀÇ °æ°ú¿¡ ÀÇÇØ ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÑ Á¤µµ·Î °¡Ä¡°¡ ÇöÀúÈ÷ °¨¼ÒÇÑ °æ¿ì ·ÀüÀÚ»ó°Å·¡ µî¿¡¼ÀÇ ¼ÒºñÀÚº¸È£¿¡ °üÇÑ ¹ý·üÀÌ Á¤ÇÏ´Â ¼ÒºñÀÚ Ã»¾àöȸ Á¦ÇÑ ³»¿ë¿¡ ÇØ´çµÇ´Â °æ¿ì |
»óÇ° Ç°Àý |
°ø±Þ»ç(ÃâÆÇ»ç) Àç°í »çÁ¤¿¡ ÀÇÇØ Ç°Àý/Áö¿¬µÉ ¼ö ÀÖÀ½ |
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»ó |
·»óÇ°ÀÇ ºÒ·®¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯, A/S, ȯºÒ, Ç°Áúº¸Áõ ¹× ÇÇÇغ¸»ó µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á ±âÁØ (°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ ÁØÇÏ¿© ó¸®µÊ ·´ë±Ý ȯºÒ ¹× ȯºÒÁö¿¬¿¡ µû¸¥ ¹è»ó±Ý Áö±Þ Á¶°Ç, ÀýÂ÷ µîÀº ÀüÀÚ»ó°Å·¡ µî¿¡¼ÀǼҺñÀÚ º¸È£¿¡ °üÇÑ ¹ý·ü¿¡ µû¶ó ó¸®ÇÔ |
(ÁÖ)ÀÎÅÍÆÄÅ©Ä¿¸Ó½º´Â ȸ¿ø´ÔµéÀÇ ¾ÈÀü°Å·¡¸¦ À§ÇØ ±¸¸Å±Ý¾×, °áÁ¦¼ö´Ü¿¡ »ó°ü¾øÀÌ (ÁÖ)ÀÎÅÍÆÄÅ©Ä¿¸Ó½º¸¦ ÅëÇÑ ¸ðµç °Å·¡¿¡ ´ëÇÏ¿©
(ÁÖ)KGÀ̴Ͻýº°¡ Á¦°øÇÏ´Â ±¸¸Å¾ÈÀü¼ºñ½º¸¦ Àû¿ëÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¹è¼Û¾È³»
±³º¸¹®°í »óÇ°Àº Åùè·Î ¹è¼ÛµÇ¸ç, Ãâ°í¿Ï·á 1~2Àϳ» »óÇ°À» ¹Þ¾Æ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ ¼·Î ´Ù¸¥ »óÇ°À» ÇÔ²² ÁÖ¹®ÇÒ °æ¿ì Ãâ°í°¡´É ½Ã°£ÀÌ °¡Àå ±ä »óÇ°À» ±âÁØÀ¸·Î ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
±ººÎ´ë, ±³µµ¼Ò µî ƯÁ¤±â°üÀº ¿ìü±¹ Åù踸 ¹è¼Û°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¹è¼Ûºñ´Â ¾÷ü ¹è¼Ûºñ Á¤Ã¥¿¡ µû¸¨´Ï´Ù.